산업 제조
산업용 사물 인터넷 | 산업자재 | 장비 유지 보수 및 수리 | 산업 프로그래밍 |
home  MfgRobots >> 산업 제조 >  >> Industrial materials >> 나노물질

양면 고분자 표면 나노구조의 전기적 특성

초록

이 연구에서는 2배 나노임프린트 리소그래피와 금속 증착 기술을 사용하여 양면 폴리머 표면 나노구조를 제작합니다. 우리는 이러한 양면 표면 나노 구조에 대한 전기적 특성 측정을 수행합니다. 양면 표면 나노 구조 및 전도성 전극을 가진 준비된 샘플의 개방 회로 전압 및 단락 전류는 다른 외력을 적용하는 오실로스코프를 사용하여 기록됩니다. 측정은 실온에서 수행됩니다. 우리는 양면 표면 나노구조의 개방전압과 단락전류의 세기가 나노구조의 크기, 모양, 배열과 압력에 크게 의존함을 발견했다. 가장 강한 전기적 특성은 약 40 N의 힘에서 sub-50nm 해상도의 날카로운 구조를 포함하는 직경 약 400 nm의 육각형 나노기둥 어레이에서 관찰될 수 있습니다. 우리는 이러한 흥미로운 연구 결과에 대한 책임이 있는 물리적 메커니즘에 대해 논의합니다. 우리가 연구하는 실험 결과는 나노발전기, 압력 ​​센서 및 나노 광전자 장치와 같은 양면 표면 나노구조의 응용과 관련이 있습니다.

<섹션 데이터-제목="배경">

배경

표면의 나노구조는 표면 강화 라만 산란(Surface-enhanced Raman scattering, SERS), 표면 플라즈몬 공명, 비선형 광학 및 전기적 응답, 그리고 나노입자, 나노격자, 나노기둥, 특히 금속 표면 나노구조와 같은 플라즈몬 여기를 위한 효율적인 매체로서 많은 관심을 끌고 있습니다. ,3,4,5] 전자, 자기, 광자, 광전자 및 센서 장치 [6,7,8,9,10]와 같은 잠재적인 응용 프로그램이 있습니다. 물리학의 관점에서 볼 때 표면 나노구조의 기본 물리적 특성은 동일한 구성 요소를 가진 벌크 물질의 물리적 특성과 크게 다릅니다. 특히, 표면 나노구조에서 표면 효과를 관찰할 수 있다. 따라서, 표면 나노구조는 나노기술 및 나노소자의 기본 빌딩 블록으로 간주될 수 있는 표면 재료에 대한 연구의 주요 초점이 되어 왔다. 폴리머 표면 나노구조는 폴리머 재료 내에서 발생하는 정전기 유도인 마찰전기 효과로 인해 독특한 광전자 및 전기적 특성을 나타냄에 유의해야 합니다[11,12,13]. 나노 스케일 구조는 마찰 전기 효과, 특히 양면 표면 구조를 향상시키기 위해 표면 거칠기와 접촉 마찰 면적을 증가시킵니다. 표면 나노구조의 마찰전기 효과는 전극과 와이어를 연결하여 전류를 얻을 수 있는 큰 전하를 생성할 수 있습니다. 고분자 표면 나노구조의 마찰전기 효과 및 관련 현상은 나노발전기, 압력 ​​및 온도 센서 및 기타 전자 장치에서의 유망한 응용에 크게 기여합니다[14,15,16,17]. 나노발전기는 기계적 에너지를 전기 에너지로 전달할 수 있고 압력 또는 온도 센서는 다른 압력이나 온도를 감지 가능한 전기 또는 광학 신호로 변환할 수 있습니다.

나노 기술의 급속한 발전으로 이제는 포토리소그래피, 나노임프린트 리소그래피(NIL), 자가 조립 및 간섭 리소그래피와 같은 주기적이고 복잡한 무질서한 표면 나노구조를 쉽게 제작할 수 있습니다[18,19,20,21,22]. 널리 사용되는 복제 나노 기술 중 하나인 NIL은 간단하고, 저렴하며, 고해상도이며, 처리량이 높기 때문에 고분자 나노 구조를 제작하는 데 이상적입니다[23,24,25]. 전자 장치로 표면 나노구조를 적용하는 한 가지 주요 이점은 표면 나노구조의 전기적 응답이 나노구조의 직경, 모양 및 배열과 같은 다양한 구조 매개변수를 통해 조정 및 변조될 수 있다는 것입니다. 따라서 표면 나노구조의 기본적인 전기적 특성을 조사하는 것은 중요하고 의의가 있다.

이 기사에서는 격자 및 나노 기둥 어레이와 같은 두 가지 종류의 양면 표면 나노 구조의 전기적 특성에 대한 자세한 실험 연구를 제시합니다. 양면 폴리머 표면 나노구조는 두 번 NIL 공정을 사용하여 제작됩니다. 두 측면의 나노 구조를 정렬할 필요가 없기 때문에 임프린팅 공정이 간단하고 비용이 저렴합니다. 전기 신호를 측정하기 위한 도전성 전극은 ITO(Indium Tin Oxide)나 Ag막과 같은 금속 증착 기술로 제작된다. 우리는 이러한 표면 나노구조가 외부 압력에 어떻게 반응할 수 있는지, 전기적 특성이 시료의 매개변수에 어떻게 의존하는지, 준비된 시료의 개방 전압과 단락 전류가 어떻게 변하는지 연구하고자 합니다.

방법

샘플

본 연구에서는 grating과 nanopillar array와 같이 측정하고자 하는 두 종류의 표면 나노구조를 제작하였으며, 주사전자현미경(SEM) 이미지를 Fig. 1에 나타내었다. 격자의 주기는 약 300 nm, 너비는 약 160 nm이고, 나노기둥의 직경은 약 300 nm입니다.

<사진>

두 종류의 표면 나노구조의 SEM 이미지. 격자(a ) 및 나노기둥 어레이(b )가 표시됩니다.

준비된 양면 표면 구조의 샘플은 UV 경화형 NIL을 두 번 결합하여 제작하고, ITO 필름을 전착하여 양면 구조 사이의 전도성 전극층을 준비합니다. 양면 고분자 나노구조체의 개략도는 그림 2와 같다. 양면구조 물질은 탄성물질인 PDMS(Polydimethylsiloxane)와 Kapton이다. 중간층은 얇은 ITO 필름입니다. 따라서 통합 장치는 유연합니다. 양면 나노구조체의 전기적 특성을 측정하는 원리인 접촉-압력-분리 동작 중 접촉 대전과 정전기 유도의 결합 효과에 의해 전기 신호가 발생한다.

<그림>

양면 고분자 나노구조의 개략도

다른 재료가 제공하는 외부 접촉 기계적 압력 변형에 의해 변형되면 마찰 전하가 생성되어 폴리머 표면에 분포됩니다. 변형이 풀리기 시작하면 외부 접촉 물질이 폴리머 표면과 분리됩니다. 이러한 마찰 전하를 보상할 수 없어 ITO 전극에 반대 전하를 유도하여 자유 전자를 ITO 전극에서 외부 회로로 흐르게 합니다. 이 정전기 유도 과정은 출력 전압/전류 신호를 줄 수 있습니다.

측정 방법

크기, 패턴, 배열이 다른 3종의 표면 나노구조체의 전기적 특성을 측정하기 위하여 Fig. 3과 같이 상온에서 제공되는 0.5~50 N 범위의 외력에서 측정하였다. 전기적 특성은 다음을 이용하여 기록하였다. 조정 가능한 선형 모터(E1100-RS-HC), 전류 및 전압 테스트 장치(Keithley 6514), 저잡음 증폭기(Stanford SR570) 및 오실로스코프(MDO 3014). 힘의 변화는 조정 가능한 선형 모터에서 이루어지며 오실로스코프는 전압 및 전류 곡선을 측정할 수 있습니다. 샘플의 표면에 압력을 가하는 실험 설정은 그림 3에 나와 있습니다.

<그림>

외력을 가하는 실험 설정 사진

결과 및 토론

서로 다른 표면 나노구조에 대한 전기적 특성은 서로 다른 외부 압력에서 그림 4에 나와 있습니다. 격자 및 나노기둥 어레이의 출력 개방 전압과 단락 전류는 그림 4에 나와 있습니다. 알 수 있는 바와 같이 표면 나노구조의 전기적 특성의 강도는 압력에 크게 의존합니다. 격자 및 나노기둥 어레이에서도 유사한 현상을 찾을 수 있습니다. 10 s 이내의 압력에 따른 개방전압 및 단락전류 변화를 측정한다. 측정 결과는 격자 및 나노기둥 어레이의 전기적 특성이 서로 다른 힘 의존성을 나타냄을 나타냅니다. 격자 구조의 개방 전압은 힘에 따라 천천히 증가하지만 단락 전류는 그림 4a 및 b와 같이 힘에 따라 분명히 증가합니다. 대조적으로, 나노기둥 어레이의 전기적 특성은 그림 4c 및 d와 같이 개방 전압과 단락 전류가 동시에 압력에 따라 크게 증가하기 때문에 더 잘 나타납니다. 그러나 힘이 30.5 N에서 42.6 N으로 증가할 때 개방 회로 전압은 변하지 않지만 단락 전류는 여전히 증가합니다. 따라서 실험 결과는 복잡한 2차원 나노기둥이 1차원 격자 구조보다 전기적 성능이 더 우수함을 보여줍니다.

<그림>

표면 나노구조의 전기적 특성. 격자에 대한 결과(a , b ) 및 나노기둥 어레이(c , d )가 표시됩니다.

나노기둥 어레이의 전기적 특성을 추가로 분석하기 위해 랜덤, 정사각형, 육각형과 같은 나노기둥의 다양한 배열과 모양을 측정하고, 다양한 나노기둥 배열의 SEM 이미지를 그림 5에 나타내었다. 랜덤 및 정사각형 배열 나노기둥은 희박하다. 그림 5a 및 b에 분포되어 있으며 원형 나노기둥의 직경은 각각 약 300 nm 및 400 nm입니다. 직경이 약 400 nm인 육각형 배열과 모양의 나노기둥이 그림 5c에 밀집되어 있습니다. 육각형 배열 나노기둥의 한 부분의 배율은 그림 5d에 나와 있습니다. 나노기둥 상단에는 날카로운 팁이 있고 나노기둥 사이에는 50nm 미만의 분해능 나노갭이 있으며 이는 나노크기 피라미드 특징과 유사합니다.

<그림>

3개의 나노기둥 어레이의 SEM 이미지. 무작위(a ) 및 정사각형 배열(b ) 원형 나노기둥, 육각형 배열 및 모양 나노기둥 배열(c ) 및 육각형 나노기둥의 확대 이미지(d )가 표시됩니다.

다양한 나노기둥 샘플에 대한 힘에 따른 전기적 성능 곡선은 그림 6에 나와 있습니다. 검정, 빨강 및 파랑 곡선은 각각 정사각형, 무작위 및 육각형 배열 나노기둥을 나타냅니다. 결과는 세 종류의 나노 기둥에 대한 개방 전압과 단락 전류가 압력에 따라 급격히 증가함을 나타냅니다. 대조적으로, 육각형 배열과 모양의 나노기둥 어레이는 가장 강하게 증가(파란색 곡선)되고 전기적 특성이 가장 좋습니다. 힘이 20 N 및 25 N 미만일 때 임의의 나노 기둥(빨간색 곡선)의 개방 전압 및 단락 전류가 정사각형 배열 나노 기둥 어레이(검은색 곡선)의 개방 회로 전압 및 단락 전류보다 크며 상황이 반환됩니다. 힘이 계속 증가함에 따라. 한 가지 주요 이유는 육각형 배열이 피라미드 형상과 유사한 더 높은 해상도(sub-50 nm) 날카로운 팁과 간격을 포함하는 최대 표면 거칠기와 마찰 접촉 영역을 제공할 수 있다는 것입니다. 여기서 표면 거칠기는 주로 피처 크기에 따라 달라지는 웨이퍼 표면 평활도 특성화 매개변수와 다릅니다. 육각형 나노기둥의 직경은 다른 것과 유사하지만 50nm 미만의 간격, 날카로운 모서리 및 모서리는 표면 마찰 거칠기와 접촉 면적을 증가시켜 전력 출력을 증가시킵니다. 힘이 35 N보다 크면 그림 6a와 같이 개방 전압 곡선이 부드러워지지만 3가지 나노 기둥에 대한 단락 전류는 그림 6b와 같이 여전히 증가하고 있음을 발견했습니다. 이는 힘에 따라 전기적 특성이 계속 증가함을 나타내며, 힘이 약 40 N 이상일 때 증가가 완만해집니다.

<그림>

개방 회로 전압(a ) 및 단락 전류(b )

실험 결과는 약 40 N의 외부 압력이 육각형 나노기둥 어레이가 전기적 특성을 향상시키는 데 적절한 힘임을 보여줍니다. 너무 많은 압력이 나노구조 샘플을 파괴할 수 있기 때문입니다. 이 연구는 다른 전기적 또는 광학적 특성에 대한 추가 조사의 기초를 제공할 수 있습니다.

이 기사에서는 양면 표면 나노 구조를 가진 샘플을 측정합니다. 표면 나노구조의 전기적 특성 측정 메커니즘은 양면 표면 나노구조가 더 나은 전기적 성능을 나타냄을 나타냅니다.

결론

이 연구에서 양면 폴리머 격자와 나노 기둥 어레이는 최첨단 나노 기술을 사용하여 제작되었습니다. 이러한 표면 나노구조에 대한 전기적 특성 측정은 상온에서 외력을 가하여 수행되었다. 우리는 이러한 샘플의 전기 신호가 힘과 구조 배열 및 모양에 크게 의존한다는 것을 발견했습니다. 특히 직경이 약 400 nm인 육각형 나노기둥 어레이에서 가장 강한 전기 신호를 관찰할 수 있으며, 이는 다른 샘플에 비해 sub-50nm 분해능의 날카로운 구조를 포함합니다. 그리고 전기적 특성을 측정하기 위한 적절한 힘은 약 40 N이며, 이러한 결과는 전기적 특성이 압력센서, 나노발전기, 전자소자 응용을 위한 표면 나노구조를 구동할 수 있음을 나타낸다. 이 연구의 흥미로운 실험 결과가 격자와 배열이 다른 나노기둥의 전기적 특성에 대한 심층적인 이해를 제공할 수 있기를 바랍니다.

데이터 및 자료의 가용성

이 연구 동안 생성되거나 분석된 모든 데이터는 이 출판된 기사[및 추가 정보 파일]에 포함됩니다.

약어

ITO:

인듐 주석 산화물

무효:

나노임프린트 리소그래피

PDMS:

폴리디메틸실록산

SEM:

주사전자현미경

SERS:

표면 강화 라만 산란


나노물질

  1. 산술 속성
  2. 반도체 나노입자
  3. 3D-DNA 나노구조
  4. 고분자 나노구조의 U2OS 세포에서 액틴 및 국소 접착 조직 분석
  5. 흑연 나노혈소판이 있는 다중벽 탄소 나노튜브를 기반으로 하는 하이브리드 복합 재료의 전기적 특성
  6. 레이저 펄스 및 스퍼터링 기술에 의한 전기 전도성 실리카 나노섬유/금 나노입자 합성물의 합성
  7. 무전해 에칭으로 제조된 실리콘 나노와이어의 광학 및 전기적 특성
  8. 페닐트리메톡시실란으로 개질된 알루미나 나노입자 기반 Al2O3:SiOC 나노복합체의 형성 및 발광 특성
  9. C# - 속성
  10. 나무의 성질