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반도체 산업의 고성능 플라스틱

고성능 플라스틱은 반도체 산업에서 중요한 역할을 합니다. 반도체 제조는 복잡한 과정입니다. 그것은 실리콘 웨이퍼와 건설에 수십억 달러의 비용이 들 수 있는 팹이라고 하는 자급식 제조 시설로 시작합니다. 팹의 중심 부분은 클린룸입니다.

클린룸 내부의 먼지는 세심하게 관리하고 있습니다. 덕트의 가장 작은 부분이라도 마이크로 회로보다 커서 IC를 망칠 수 있습니다. 또한 시설물은 진동에 강하고, 온습도를 세심하게 유지하여 정전기를 최소화합니다.

집적 회로는 포토리소그래피, 에칭, 세정, 박막 증착 및 연마와 같은 공정을 사용하여 제조됩니다. 약 270가지의 화학 물질과 가스가 필요합니다. 1 집적 회로를 생성합니다. 질산, 염산 및 불화수소산, 오존 등 많은 것들이 극도로 부식성이 있습니다. 금속은 이러한 화학 물질에 노출되면 부식되어 허용할 수 없는 수준의 미립자와 장비 고장을 발생시킵니다....그러나 이러한 극한 조건에서 매우 잘 작동하는 고성능 플라스틱이 많이 있습니다.

반도체 업계의 고성능 플라스틱에 대한 상위 10가지 성능 기준 목록은 다음과 같습니다.

1. 부식을 방지하는 우수한 내화학성.

2. 더 나은 제품 수율을 위한 낮은 입자 생성.

3. 진공에서 낮은 가스 방출 및 낮은 수분 흡수 특성.

4. 고온 성능.

5. 전기 절연 특성, 낮은 유전 상수.

6. 더 긴 부품 수명, 크리프 저항을 위한 치수 안정성.

7. 금속 이온 함량이 낮기 때문에 고순도 화학 물질에서 추출 가능한 수준이 낮습니다.

8. 우수한 가공성.

9. 난연제.

10. 열전도율이 낮습니다.

이러한 고성능 플라스틱은 어떻게 사용됩니까? 먼저 반도체 공정 장비의 종류가 많다는 것을 이해해야 합니다. 고성능 플라스틱은 반도체 제조의 모든 단계에서 중요하지만 아마도 습식 벤치만큼 중요하지 않을 것입니다. 이 기계는 산 에칭, 화학적 헹굼 및 건조와 같은 습식 화학 공정을 수행합니다. 습식 벤치는 최대 공정 순도를 허용하고 건조 중 화학 물질 이월 또는 웨이퍼 오염의 위협을 최소화합니다.

젖은 벤치가 작동하는 YouTube 동영상을 시청하세요!


고성능 플라스틱은 이러한 유형의 장비에 광범위하게 사용됩니다. PVDF(폴리비닐리덴 디플루오라이드)와 같은 플라스틱; PP 2 (폴리프로필렌); PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌); FEP(불소화 에틸렌 프로필렌, PFA(퍼플루오로알콕시), CPVC(염소화 폴리염화비닐), ECTFE(에틸렌 클로로트리플루오로에틸렌) 및 PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌)가 더 일반적입니다. 이러한 고성능 플라스틱은 탱크, 피팅, 나사, 개스킷을 만드는 데 사용됩니다. , 스페이서, 하우징, 개스킷, 웨이퍼 운반 트레이, 핸들, 힌지, 시트, 튜빙, 펌프 등 화학적 내성이 강하고 극한 환경에 견딜 수 있습니다.

고성능 플라스틱이 없었다면 노트북, 휴대폰, 와이드 스크린 TV는 물론 정보화 시대 자체도 불가능했을 것입니다.

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1 반도체 산업을 위한 화학 물질 및 가스 핸드북에 따르면 Wiley에 의해 출판.

2 단독중합체

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