ISMI는 장비 신뢰성 성능 추적을 위한 소프트웨어를 제공합니다.

ISMI(International SEMATECH Manufacturing Initiative)는 SEMI E10 준수 보고를 위해 장비, 모듈 및 웨이퍼 수준에서 RAM 메트릭을 캡처하고 계산하는 웹 기반 애플리케이션인 RAMCalc(신뢰성, 가용성 및 유지보수성 계산기)를 출시했습니다. ISMI의 RAMCalc를 사용하면 장비, 산업 및 유지 관리 엔지니어가 평균 고장 시간, 평균 수리 시간, 평균 오프라인 시간, 단일 경로 및 복잡한 다중 경로 클러스터 도구의 가용성과 같은 RAM 메트릭을 계산할 수 있습니다.

대중에게 무료로 제공되는 기본 단일 경로 RAMCalc는 단일 챔버 또는 클러스터되지 않은 제조 장비의 성능을 계산합니다. 단일 경로 계산기 외에도 다중 경로 버전의 RAMCalc를 사용하면 복잡한 다중 경로 클러스터 도구 장비를 추적할 수 있습니다.

ISMI 프로젝트 매니저인 Lorn Christal은 “장비 데모 테스트를 위한 강력한 데이터 수집 솔루션의 개발은 매우 중요합니다. "장비 데모 테스트에서 ISMI의 역할은 표준화된 데이터 수집 메커니즘에서 공식화된 정확한 성능 메트릭을 제공하는 것입니다."

RAMCalc에 사용된 알고리즘은 SEMI E10과 일치하는 RAM 메트릭을 자동으로 생성하기 위해 팹 도구에 독립적으로 로드할 수 있습니다. 공동 프로젝트 관리자인 Jo Beekman에 따르면 “RAMCalc는 유연합니다. 현재 SEMI E10과 일치하는 메트릭을 생성하지만 다른 상태 집합을 사용하여 장비 생산성과 관련된 것과 같은 다른 메트릭에 적용하거나 아직 정의되지 않은 상태에 대한 메트릭을 생성하는 데 사용할 수 있습니다."

SEMI E10은 반도체 제조 장비의 장비 신뢰성 성능을 측정하기 위한 잘 알려진 산업 표준입니다. SEMI E10은 제조 환경에서 해당 장비의 RAM 성능을 측정하기 위한 표준을 제공하여 사용자와 반도체 장비 공급업체 간의 통신을 위한 공통 기반을 구축합니다. SEMI E10 표준을 개정하기 위한 투표는 올해 말에 있을 것으로 예상됩니다. 투표는 다중 경로 클러스터 도구 장비에 대한 RAM 메트릭 계산을 공식화하려고 시도합니다. ISMI의 RAMCalc는 새로운 투표용지를 따르도록 설계되었습니다.

RAMCalc 소스 코드는 ISMI의 CADe(Collaborative Application Development Environment)를 통해 사용할 수 있습니다. CADe는 ISMI 회원에게 무료로 제공되는 "커뮤니티 소스" 코드 공유 프로그램이며, 비회원 회사에는 무료로 제공됩니다.

ISMI는 2010년 11월 1일 ISMI 심포지엄에서 마라톤 테스트 및 대량 생산 환경과 관련된 상황에서 장비 성능을 추적하거나 벤치마킹하기 위한 RAMCalc 사용에 대한 소개를 제공할 예정입니다. 이 과정은 새로운 개념인 의도된 프로세스 세트, 단일 경로 클러스터를 강조합니다. 도구 및 다중 경로 클러스터 도구 및 이러한 각 상황에서 RAMCalc를 사용할 수 있는 방법을 보여줍니다.

기본 RAMCalc 응용 프로그램은 ISMI의 공개 웹 사이트(http://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm)에서 사용할 수 있습니다. 자세한 내용은 Johannes Beekman([email protected]) 또는 Lorn Christal([email protected])에게 문의하십시오.

ISMI 정보
ISMI는 제조 효율성에 중점을 둔 협력 프로그램을 통해 웨이퍼당 비용과 궁극적으로 다이당 비용을 줄이는 데 전념하는 세계 주요 반도체 제조업체의 글로벌 연합입니다. ISMI는 SEMATECH(www.sematech.org)의 전액 출자 자회사입니다.