ISMI, SEMI E10 표준 장비 신뢰성 지표용 웹 기반 RAMCalc 출시

ISMI, SEMI E10 표준 장비 신뢰성 지표용 웹 기반 RAMCalc 출시

국제 SEMATECH 제조 이니셔티브(ISMI)는 오늘 RAMCalc를 공개했습니다. 이는 반도체 제조 장비의 장비, 모듈, 웨이퍼 수준에서 주요 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 지표를 수집, 집계, 보고하는 클라우드 기반 계산기입니다. 이 도구는 장비 성능 측정의 업계 벤치마크인 SEMI E10 표준과 연계됩니다.

단일 경로 및 복잡한 다중 경로 클러스터 툴 모두를 위해 설계된 RAMCalc는 자동으로 다음을 계산합니다:

• 평균 고장 간격 (MTBF)
• 평균 수리 시간 (MTTR)
• 평균 오프라인 시간 (MTOL)
• 가용성

기본 단일 경로 버전은 공개 무료로 제공되며, 독립형 또는 비클러스터 제조 장비에 적합합니다. 고처리량 클러스터 환경을 위한 다중 경로 변형은 이러한 기능을 다중 경로 툴로 확장합니다.

"정확한 장비 데모 테스트를 위해서는 견고한 데이터 수집 솔루션이 필수적입니다."라고 ISMI 프로젝트 매니저 론 크리스탈(Lorn Christal)은 말했습니다. "RAMCalc는 일관된 데이터 수집 메커니즘에서 도출된 정확하고 표준화된 성능 지표를 제공합니다."

알고리즘을 제작 장비에 직접 탑재할 수 있어, 생성된 지표가 SEMI E10을 완전히 준수하도록 보장합니다. 공동 프로젝트 매니저 조 벡만(Jo Beekman)은 "RAMCalc는 높은 적응성을 가집니다. 현재 SEMI E10 지표를 생성하지만, 같은 프레임워크로 다른 생산성 상태나 미래의 미정의 지표에도 맞춤화할 수 있습니다."라고 언급했습니다.

올해 말 SEMI E10 표준 개정 투표가 예상되며, 다중 경로 클러스터 툴 계산을 공식화하는 것을 목표로 합니다. RAMCalc는 이러한 향후 업데이트를 예측하고 준수하도록 설계되었습니다.

RAMCalc 소스 코드는 ISMI의 협업 애플리케이션 개발 환경(CADe)을 통해 자유롭게 이용 가능합니다. 이는 ISMI 회원과 비회원 모두에게 기여 대가 기준으로 열려 있는 커뮤니티 소스 프로그램입니다.

ISMI는 11월 1일 ISMI 심포지엄에서 종합 교육 세션을 개최하며, 다음을 다룹니다:

• 대상 프로세스 세트
• 단일 경로 클러스터 툴
• 다중 경로 클러스터 툴
• 마라톤 테스트와 대량 생산에서의 RAMCalc 실무 활용

기본 RAMCalc 애플리케이션은 ISMI 공개 웹사이트에서 직접 접근 가능합니다: https://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm.

추가 정보나 문의는 다음으로 연락하세요:

조 벡만 – jo.beekman@ismi.sematech.org
론 크리스탈 – lorn.christal@ismi.sematech.org

ISMI 소개
ISMI는 세계 유수의 반도체 제조사들의 글로벌 연합으로, 협력적 제조 효율성 프로그램을 통해 웨이퍼당 비용을, 궁극적으로는 다이당 비용을 절감하는 데 전념합니다. ISMI는 SEMATECH(www.sematech.org)의 100% 자회사입니다.