산업 제조
산업용 사물 인터넷 | 산업자재 | 장비 유지 보수 및 수리 | 산업 프로그래밍 |
home  MfgRobots >> 산업 제조 >  >> Industrial materials >> 나노물질

전각 마이크로 LED를 위한 고반사 박막 최적화

초록

마이크로 LED(Micro-Light Emitting Diode)로 구성된 디스플레이는 차세대 자발광 스크린으로 각광받고 있으며 고대비, 고휘도, 고순도 등의 장점을 갖고 있다. 이러한 디스플레이의 발광은 Lambertian 광원의 발광과 유사합니다. 그러나 기존의 2차 광학 렌즈는 광원 면적의 감소로 인해 마이크로 LED의 라이트 필드 유형을 조정하는 데 적합하지 않고 적용 영역을 제한하는 문제가 발생했습니다. 이 연구는 광 분포를 최적화하고 전체 각도 활용을 달성하기 위해 마이크로 LED의 발광 표면에 낮은 흡수율을 갖는 고반사 박막 코팅을 형성하기 위한 유전체 및 금속 필름의 기본 광학 설계를 제시합니다. 낮은 전압 변화율, 낮은 광 손실 특성을 유지하고 배광의 반치폭(FWHM)을 획득한 프로토타입에 대한 실험 결과에 따르면 배광 분포는 165°로 향상되고 중심 강도는 63으로 감소됩니다. 원래 값의 %. 따라서 이 연구에서는 반사율이 높은 박막 코팅이 된 전각 마이크로 LED가 구현되었습니다. Full-angle micro-LED는 넓은 시야각을 요구하는 상업용 광고 디스플레이나 면광원 모듈에 적용할 때 이점을 제공합니다.

<그림>

소개

디스플레이는 가장 많이 사용되는 디스플레이 기술의 일부인 스마트폰, 컴퓨터 모니터, 텔레비전(TV) 및 상업용 광고 화면을 포함하여 인간 생활에서 없어서는 안될 부분이 되었습니다. 현재 주류 디스플레이 기술에는 액정 디스플레이(LCD), 유기 발광 다이오드(OLED) 및 마이크로 LED(마이크로 LED)가 포함됩니다[1,2,3]. LCD는 긴 수명, 저렴한 가격 및 성숙한 기술과 같은 장점이 있습니다[4,5,6]. 그러나 대형 직하형 백라이트 LCD는 여전히 전체 광출력 효율이 낮고 구조가 복잡하여 전체 두께를 줄이기가 어렵다[7,8,9].

OLED는 디스플레이에 적용할 때 자체 발광의 장점이 있으며, 작은 크기, 높은 유연성, 높은 명암비 및 넓은 색 영역[10,11,12]; 그러나 빛을 발산할 때 red, green, blue sub-pixel이 혼합되어 발생하는 색순도 불량 문제를 해결하기 위해서는 복잡하고 미세한 금속 마스크를 사용해야 하므로 OLED 디스플레이의 해상도와 밝기도 제한됩니다. 내부 유기 물질의 특성으로 인해 전체 수명이 단축됩니다[13,14,15].

마이크로 LED는 LCD와 OLED의 장점 외에 고휘도, 장수명, 고효율의 장점이 있다[16,17,18]. 마이크로 LED 디스플레이는 자체 발광하며 매우 작은 마이크로 LED 칩을 점 광원으로 사용하므로 높은 발광 효율, 긴 수명, 높은 색 순도, 높은 명암비 및 높은 화학적 안정성의 이점을 제공합니다[19,20,21]; 그러나 이러한 디스플레이는 여전히 마이크로 LED 크기의 축소 및 장비의 상대적으로 높은 기판 정확도와 같은 문제가 있어 많은 마이크로 LED의 전송 기술에 문제가 발생합니다[22,23,24].

제조공정의 어려움 외에도 마이크로 LED를 광원으로 사용하는 경우 표시되는 라이트 필드 패턴이 Lambertian 특성을 가지므로 상업용 광고 디스플레이에 적용할 경우 시야각이 제한되는 등의 문제가 발생합니다[25]. 따라서 마이크로 LED의 발광 각도를 높이면 디스플레이의 시야각이 증가할 뿐만 아니라 LCD의 백라이트로 사용되는 경우 그 개수와 두께가 감소합니다. 현재까지 마이크로 LED의 발광 각도 최적화에 대한 연구는 아직 부족하므로 이 연구 영역을 개선하는 것이 도움이 될 것으로 기대된다[26,27,28]. 최근 몇 년 동안 학자들은 발광 각도를 최적화하기 위한 광학 설계를 제안했습니다. Spägele et al. 광각 효과를 달성하기 위해 슈퍼셀의 인접한 원자 사이의 결합을 사용하는 제안된 슈퍼셀 메타표면(SCMS); Estakhri et al. 광각을 달성하기 위해 TiOx 나노와이어로 구성된 고효율 역반사 가시광 구배 메타표면의 설계를 제안했습니다. Deng et al. 광출사각을 증가시키기 위해 메타표면을 구성하기 위해 직사각형 홈이 있는 얇은 금속 나노 격자를 제안했습니다[29,30,31]. Qiu et al. 넓은 시야각을 달성하기 위해 새로운 유형의 투명 전도성 필름으로 무질서한 이중 크기 구멍을 가진 Au 나노 메쉬 구조를 제안했습니다. Liu et al. 큰 각도의 입사 영역에서 광학 이방성과 높은 광 투과율의 장점으로 인해 투명 전도성 필름으로 그래 핀을 사용하는 것이 제안되었습니다. 또한, 적외선 LED의 경우 Lee et al. NIR-LED의 상부 층과 광각 효과를 얻기 위한 ITO[32,33,34].

2차 광학 소자를 사용하여 배광을 변조하는 것과 관련된 연구도 보고되었습니다. Run et al. 내부 표면이 실린더이고 외부 표면이 자유형 표면인 새로운 자유형 표면 렌즈를 설계하여 발광 각도를 최적화했습니다. Linet al. 광각을 달성하기 위해 LED 렌즈 어레이 레이아웃을 최적화하기 위해 데카르트 칸델라 분포 자유형 렌즈 어레이를 제안했습니다[35, 36]. 또한 CSP LED(Chip Scale Package-Light-Emitting Diode)의 조명 형태 변조에 대한 연구에는 기존 패키징 구조의 변경과 평면 광원에 대한 배광 최적화가 포함됩니다[37, 38].

여러 연구자들은 또한 라이트 필드 패턴을 변경하기 위해 다양한 LED 기판 디자인을 고려했습니다. Lai et al. 황산 습식 에칭 공정을 사용하여 c면 사파이어 기판에 삼각형 피라미드 패턴을 형성하여 더 높은 광 추출 효율을 달성하고 광각을 증가시켰습니다. Lanet al. 강한 피크와 큰 광각을 나타내는 패키지된 역 사다리꼴 플립 칩 마이크로 LED와 결합된 패턴화된 사파이어 기판(PSS)을 제안했습니다. Zhang et al. 은 NPSS 구조가 광각을 달성하고 광 추출 효율을 향상시킬 수 있음을 보여주기 위해 나노 패턴 사파이어 기판(NPSS) 구조를 가진 플립 칩 심자외선 LED를 연구했습니다[39,40,41]. 광 분포를 변조하기 위해 광학 모듈에도 광학 부품이 추가되었습니다. Wang et al. 소형 도광판을 통해 빛을 확산시키고 넓은 시야각을 구현하기 위해 줄무늬 확산 반사기와 결합된 소형 고 지향성 백라이트 모듈을 제안했습니다. Li et al. 색수차 효과와 넓은 시야각을 달성하기 위해 다중 비틀림 지연기의 1/4 파장 판을 설계했습니다[42, 43].

넓은 시야각을 달성하려면 LCD가 광각 백라이트 및 액정 재료와 일치하도록 설계되어야 합니다. 이 과정에서 측광누설 및 색변이의 문제가 있다. 세 그룹의 지향성 백라이트와 빠르게 전환되는 LCD 패널을 사용하여 120도 넓은 시야각을 가진 시간 다중화 라이트 필드 디스플레이가 시연됩니다[44].

따라서, 발광각을 개선하기 위한 이전 연구는 발광각을 증가시키기 위한 마이크로 LED 칩 상의 광학 필름 설계에 대한 적절한 조사가 부족하다. 최근 마이크로 LED의 크기가 크게 감소함에 따라 기존 LED와 같이 보조 광학 렌즈를 사용하여 라이트 필드 유형을 조정하는 것이 불가능합니다. 이전 연구에서는 금속 필름으로 라이트 필드 유형을 조정하는 것도 제안했습니다. 금속은 다른 각도에서 우수한 반사율을 갖지만 재료는 광 출력 효율을 감소시키는 높은 광 흡수 계수를 갖는다. 다른 각도에서 유전체 재료의 반사율은 금속보다 상대적으로 좋지 않지만 재료 자체는 낮은 광 흡수 계수를 가지고 있습니다. 이 논문은 마이크로 LED의 표면에 증착된 저흡수 및 고반사 박막을 얻고 광 출력 효율과 전각 광을 고려하면서 전각 배광을 달성하기 위한 유전체 및 금속 필름의 1차 광학 설계를 제안합니다. 마이크로 LED의 방출. Full-angle micro-LED는 넓은 시야각을 요구하는 상업용 광고 디스플레이나 면광원 모듈에 적용할 때 이점을 제공합니다.

자료 및 방법

마이크로 LED 칩 크기 및 라이트 필드 유형

길이 L을 기준으로 본 연구에 사용된 마이크로 LED의 치수 , 너비 W , 높이 H 각각 150μm, 85μm, 85μm입니다. 베어 칩의 배광 곡선은 그림 1과 같습니다. 법선 방향 I에서 중심점의 강도 C 92%, 피크 각도 I 피크 는 15°이고 중심점의 세기에 대한 계산방법은 식으로 표현된다. (1). 광 분포 곡선에서 마이크로 LED는 135°의 반치폭(FWHM)에서 유사한 Lambertian 조명 유형을 가지고 있음을 알 수 있습니다. 따라서 보조 광학 렌즈 없이 전체 각도 발광을 얻기 위해 발광 각도를 증가시키는 것이 이 연구의 주요 연구 초점입니다.

$$\frac{{I_{{{\text{C}} }} \,\left( {{\text{Center}}\,{\text{light}}\,{\text{강도}}} \right)}}{{I_{{{\text{피크}}}} \,\left( {{\text{피크}}\,{\text{각도}}\,{\text{강도}} } \right)}} \times 100\%$$ (1) <그림>

마이크로 LED 칩 배광 곡선

앞서 언급한 매개변수 중 낮은 중심광 강도와 증가된 최대 광도는 균일성과 시야각을 향상시키는 데 도움이 됩니다[45]. 이 연구는 TiO2로 만들어진 유전체 필름을 포함하는 마이크로 LED 칩 표면의 고반사 박막(HRTF) 층의 설계를 제시합니다. /SiO2 적층된 유전체 재료와 Al로 만들어진 금속막. 마이크로 LED의 구조와 이를 통한 광 경로는 그림 2에 나와 있습니다. 빛은 다중 양자 우물(MQW) 층을 통해 빠져나가며 HRTF에 의해 부분적으로 반사됩니다. 그 후, 빛은 Al2 측벽에서 나옵니다. O3 마이크로 LED에서 증가된 광 출사각으로 전체 각도 광 출사를 실현하는 레이어입니다.

<그림>

HRTF 코팅이 적용된 전각 마이크로 LED 내의 광 경로

HRTF 자료

광학 필름에 사용되는 재료의 선택은 원하는 특성을 달성하는 데 매우 중요합니다. 첫째, 재료는 큰 흡수로 인한 광 추출 효율 감소를 피하기 위해 필요한 파장 대역에서 낮은 흡광 계수를 가져야 합니다. 그런 다음 재료의 접착력, 물리적 및 화학적 안정성, 광선 투과율을 고려해야 합니다. 유전체 재료 TiO2 /SiO2 가시광선 대역에서 이러한 특성에 대한 우수한 특성을 가지고 있습니다. Al은 소광 계수가 비교적 높지만 입사각이 증가함에 따라 반사율을 쉽게 감소시킬 수 없습니다. 그러나 높은 광도를 견딜 수 있습니다. 위의 특성을 바탕으로 고굴절률 물질(H ) TiO2 및 저굴절률 재료(L ) SiO2 유전막에 Al을 사용하고 금속막에 Al을 사용하며 Al2 O3 광학 박막 디자인을 위한 기판으로. 이 연구에 사용된 재료의 굴절률은 460nm의 주파장에서 표 1에 나와 있습니다.

HRTF 디자인 최적화

마이크로 LED의 발광면에 사용되는 기판은 Al2입니다. O3 . 우리는 기판에 HRTF를 설계하고 높은 발광 효율을 유지하면서 반사율을 향상시키기 위해 유전체 및 금속 필름을 사용했습니다. 여기서 목표는 460nm의 지배적 파장에서 반사율> 90%를 달성하는 것이었습니다. HRTF 설계의 원리는 빛의 상쇄 및 보강 간섭 특성을 사용하여 반사율을 향상시키는 것입니다. 광학적 두께가 파장의 1/4일 때 필름 매질에서 최대 광간섭이 발생하며 이때의 계면반사율 R은 식에 따라 계산된다. (2) [46].

$$R =\frac{{n_{{\text{s}}} n_{2}^{2P} - n_{{{\text{air}}}} n_{1}^{2P} }}{ {n_{{\text{s}}} n_{2}^{2P} + n_{{{\text{air}}}} n_{1}^{2P} }}$$ (2)

자, TiO2의 수입니다. -SiO2 기간,\({ }n_{{\text{s}}}\)은 기판의 굴절률, \(n_{1}\)은 TiO2의 굴절률 , \(n_{2}\)는 SiO2의 굴절률입니다. , 그리고 \(n_{{{\text{air}}}}\)는 공기 매질의 굴절률입니다. 투과 광학 두께는 파장의 1/4입니다. 따라서 Al의 물리적 두께, TiO2 및 SiO2 각각 20nm, 47.78nm, 78.50nm입니다. 이 연구에서는 Macleod 광학 시뮬레이션 소프트웨어를 사용하여 순수 Al, Al/(HL), Al/(HL) 2 에 대한 4가지 박막 구조를 시뮬레이션합니다. , 및 Al/(HL) 3 .

그림 3은 순수한 Al, Al/(HL), (HL) 2 의 파장과 반사율 사이의 관계를 보여줍니다. , Al/(HL) 2 , 및 Al/(HL) 3 400~500nm의 시뮬레이션된 파장 범위에서 5개의 멤브레인 스택 구조 중 순수 Al의 반사율, Al/(HL), (HL) 2 , Al/(HL) 2 , 및 Al/(HL) 3 460nm에서 각각 85.53%, 86.15%, 71.84%, 90.23%, 93.04%입니다.

<그림>

순수 Al의 반사율, Al/(HL), (HL) 2 , Al/(HL) 2 , 및 Al/(HL) 3 400~500nm의 파장에서 시뮬레이션되었습니다.

Table 2는 순수 Al, Al/(HL), (HL) 2 의 5가지 멤브레인 스택 구조의 반사율, 투과율 및 흡수율을 보여줍니다. , Al/(HL) 2 , 및 Al/(HL) 3 . 460nm에서 순수 알루미늄의 투과율은 5%, 흡수율은 9.47%로 5가지 멤브레인 스택 중 흡수율이 가장 높습니다. (HL) 2 의 투과율 460nm에서 멤브레인 스택은 28.06%이고 흡수율은 0.1%입니다. 이 흡수율은 전체 광 추출 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 또한, 이 멤브레인 스택 구조는 가장 작은 흡수율을 가지며 반사율은 71.84%에 불과합니다. Al/(HL) 2 멤브레인 스택은 460nm에서 투과율이 4.38%이고 흡수율이 5.39%입니다. 이 멤브레인 스택 구조는 전체 광 추출 효율과 전체 각도 광 분포를 고려합니다. 복사속과 전체 광 추출 효율을 모두 고려하면 Al/(HL) 2 이 연구에서는 HRTF 코팅을 위해 멤브레인 스택 구조를 사용했습니다.

그림 4는 시뮬레이션된 Al/(HL) 2 를 보여줍니다. 및 (HL) 2 400~500nm에 대한 해당 반사율 및 투과율 그래프도 포함됩니다. Al/(HL) 2 의 평균 반사율 및 투과율 89.6%와 4.54%이고 평균 반사율과 투과율은 (HL) 2 입니다. 각각 70.3%와 29.56%입니다. 시뮬레이션 결과에서 얇은 알루미늄 층을 추가하면 반사율이 1.27배 증가함을 알 수 있습니다.

<그림>

Al/(HL) 2 의 시뮬레이션된 박막 구조의 반사율 및 투과율 비율 및 (HL) 2 400~500nm 범위의 파장용

그림 5는 (a) Al/(HL) 2 의 투과율 및 반사율의 변화를 보여줍니다. 다른 입사각에서; 0°에서 60°까지 평균 반사율은 87.7%이고 평균 투과율은 6.97%입니다. 그림 5b. (HL) 2 의 투과율 및 반사율 다른 입사각에서; 0°에서 60°까지 평균 반사율은 68.99%이고 평균 투과율은 30.88%입니다. 전체 각도 반사 필름 디자인에서 Al/(HL) 2 얇은 알루미늄 층을 추가하면 평균 반사율의 전체 각도가 1.27배 증가한다는 시뮬레이션 결과를 볼 수 있습니다.

<그림>

시뮬레이션된 a의 반사율 및 투과율 비율 변화 알/(HL) 2 입사각 0–90° 및 b의 경우 (HL) 2 0–90°의 입사각

그림 6은 Al/(HL) 2 의 시뮬레이션된 파장/입사각/반사율 3D 다이어그램을 보여줍니다. 0~25°의 입사각과 440~480nm의 파장 범위에서 평균 반사율이 90%를 초과하는 경우

<그림>

시뮬레이션된 파장, 입사각 및 Al/(HL)의 반사율에 대한 3D 관계 다이어그램 2

결과 및 토론

그림 7은 마이크로 LED 칩의 HRTF 코팅에 대한 주사 전자 현미경(SEM) 이미지를 보여줍니다. 칩 길이 Lc 240µm, 너비 Wc 140µm, 높이 Hc 100μm입니다. 그림 8a는 평면도를 나타내고 그림 8b는 바닥면을 보여줍니다.

<사진>

마이크로 LED 칩의 SEM 이미지:a 상단 및 b 하단 보기

<사진>

HRTF의 단면 SEM 이미지

그림 8은 HRTF 코팅이 적용된 마이크로 LED 칩의 단면 SEM 이미지를 보여줍니다. HRTF 프로토타입 필름 스택에는 20.6nm의 Al 필름 두께, TiO2가 포함됩니다. 46.3nm 및 46.2nm의 유전체 필름 두께 및 SiO2 77.5nm 및 77.1nm의 유전체 필름 두께

그림 9는 측정된 휘도-전류-전압(L-I-V) 곡선을 보여줍니다. 30mA의 입력 전류에서 결과는 HRTF 코팅 없이 출력 복사 플럭스, 전압 및 외부 양자 효율(EQE)이 각각 33.833mW, 3.293V, 41.84%임을 보여줍니다. HRTF 코팅의 전압, 출력 전력 및 EQE는 각각 3.301V, 32.757mW 및 40.51%입니다. 결과는 HRTF 코팅이 마이크로 LED의 전류 대 전압(IV) 곡선 특성에 거의 영향을 미치지 않는다는 것을 보여줍니다. HRTF 코팅의 EQE는 감쇠 3.178%입니다.

<그림>

HRTF 코팅이 있거나 없는 마이크로 LED의 광전 특성

입력 전류가 50mA로 증가함에 따라 이 전압과 출력 전력은 각각 3.5V 및 48.165mW로 증가하고 복사 플럭스는 HRTF 코팅이 없는 마이크로 LED보다 약 3.3%만 낮습니다. 이것은 HRTF 코팅이 된 마이크로 LED가 낮은 전압 변동률과 낮은 광학 손실 특성을 가지고 있음을 보여줍니다.

그림 10은 HRTF 스택 코팅이 적용된 마이크로 LED에 대한 전류의 지배적 파장의 드리프트 특성을 보여줍니다. 주황색 선은 베어 마이크로 LED를 나타내고 파란색 선은 HRTF 코팅이 적용된 마이크로 LED를 나타냅니다. 전류가 2mA에서 30mA로 증가하면 피크 파장이 465.47nm에서 460.01nm로 변경되어 마이크로 LED가 Al/(HL) 2 스택으로 코팅되었음을 나타냅니다. 멤브레인은 전류의 지배적 파장에 대해 5.46nm의 변화만 보여줍니다. 따라서 이러한 결과는 원래 베어 마이크로 LED의 광전 특성이 유지됨을 보여줍니다.

<그림>

Al/(HL) 2 이 있거나 없는 마이크로 LED의 지배적 파장 특성 곡선의 변화 필름 스택 코팅

그림 11은 온도 대 피크 파장 특성 곡선을 보여줍니다. 주황색 선은 베어 마이크로 LED를 나타내고 파란색 선은 HRTF 코팅이 적용된 마이크로 LED를 나타냅니다. 온도가 25°C에서 105°C로 증가함에 따라 피크 파장은 460.09에서 462.45nm로 적색 편이됩니다. 이 두 곡선은 HRTF 코팅 후에도 원래의 광전 특성이 여전히 유지됨을 보여줍니다. 지배적인 파장 이동은 2.36nm에 불과합니다.

<그림>

Al/(HL) 2 가 있거나 없는 마이크로 LED의 피크 파장 특성 곡선 온도 변화에 따른 필름 스택 코팅

HRTF의 장기 안정성 테스트는 그림 12에 나와 있습니다. 테스트 주변 온도는 25℃이고 구동 전류는 30mA입니다. 1000h에서 복사속은 98.5%로 유지될 수 있습니다.

<그림>

HRTF의 장기 안정성 테스트

그림 13은 베어 및 HRTF 코팅 마이크로 LED의 배광 곡선을 보여줍니다. 검은 선은 FWHM이 135°, 중심 광 강도가 92%, 피크 각도가 15°인 베어 마이크로 LED의 라이트 필드 패턴을 나타냅니다. 빨간색 선은 FWHM이 165°로 증가하고 중심 광 강도가 63%로 감소하고 피크 각도가 37.5°로 증가된 HRTF 코팅이 적용된 마이크로 LED의 광 분포를 나타냅니다.

<사진>

베어 및 HRTF 코팅 마이크로 LED의 배광 곡선

그림 14는 (a) 베어 및 HRTF 코팅 마이크로 LED의 광 분포 다이어그램을 보여줍니다. 그림 14b는 HRTF 코팅이 적용된 마이크로 LED의 발광 분포가 더 넓은 각도와 더 균일한 분포를 가짐을 보여줍니다.

<그림>

a의 광도 분포 개략도 맨손으로 b HRTF 코팅 마이크로 LED

대형 광각 디스플레이 화면으로서 HRTF의 서로 다른 영역 사이의 색수차는 그림 15에 나와 있습니다.

<그림>

HRTF에 해당하는 다른 파장의 반사율 관계

이 문서는 HRTF의 설계를 최적화하기 위해 440~460nm의 파장 범위를 기반으로 합니다. 향후 풀 컬러에 적용하면 알루미늄 필름의 두께가 50nm 이상으로 증가하고 글로벌 파장(400~780nm)에서 색상 균일도가 더 좋아질 것이다.

결론

우리는 마이크로 LED의 표면에 HRTF 코팅을 설계하여 전체 시야각을 달성하기 위해 배광 각도를 증가시킬 것을 제안합니다. 우리는 1차 광학 설계를 사용하여 2차 광학 요소 없이 마이크로 LED의 빛 모양을 변조합니다. HRTF 필름 스택 구조는 Al/(HL) 2 을 사용하여 최적화되었습니다. 높은 반사와 낮은 흡수를 얻기 위해. 프로토타입으로 제작된 마이크로 LED에 대한 측정에 따르면 L-I-V 곡선은 HRTF 코팅을 사용하여 30mA의 입력 전류에서 마이크로 LED의 I-V 특성에 거의 영향을 미치지 않으며 복사 플럭스는 3.3에 불과합니다. 베어 마이크로 LED보다 % 낮습니다. 발광 각도 측면에서 HRTF 코팅이 적용된 마이크로 LED의 중심 광 강도는 92%에서 63%로 감소하고 피크 각도는 15°에서 37.5°로 증가하며 FWHM은 135°에서 165°로 향상됩니다. .

평가 실험의 결과는 HRTF 코팅이 적용된 마이크로 LED가 낮은 전압 변동률, 낮은 광학 손실 및 165°의 넓은 전체 각도 광 분포를 갖는다는 것을 보여줍니다. 전각 마이크로 LED는 베어 마이크로 LED의 광전 특성을 유지하면서 전체 광 효율을 고려하여 제조됩니다. 이러한 마이크로 LED는 넓은 시야각을 요구하는 디스플레이나 면광원 모듈에 적용할 때 이점을 제공합니다.

데이터 및 자료의 가용성

이 기사의 결론을 뒷받침하는 데이터 세트는 기사에서 사용할 수 있습니다.

약어

마이크로 LED:

마이크로 발광 다이오드

FWHM:

최대 절반에서 전체 너비

TV:

텔레비전

LCD:

액정 디스플레이

OLED:

유기발광다이오드

SCMS:

슈퍼셀 메타표면

TITO:

티타늄-인듐-주석 산화물

NIR-LED:

근적외선 발광 다이오드

CSP-LED:

칩 스케일 패키지-발광 다이오드

PSS:

패턴 사파이어 기질

NPSS:

나노 패턴 사파이어 기판

L :

마이크로 LED 길이

W :

마이크로 LED 너비

:

마이크로 LED 높이

피크 :

피크 각도 강도

C :

중심 조명 강도

HRTF:

고반사 박막

MQW:

다중 양자 우물

:

고굴절률 재료

L :

저굴절률 재료

k :

소광 계수

SEM:

주사 전자 현미경

L–I–V:

휘도-전류-전압

IV:

전류 대 전압


나노물질

  1. IBM &Warwick Image 최초의 반응성이 높은 삼각형 분자
  2. 마이크로 LED 및 VCSEL을 위한 고급 원자층 증착 기술
  3. 3상 전기 변색 장치를 위한 침지 코팅 공정 엔지니어링 및 성능 최적화
  4. 고효율 광촉매 수소 진화를 위한 ZnO@TiO2 중공 구체의 계층적 이종구조
  5. 박막 트랜지스터용 산화인듐 나노필름의 원자층 증착
  6. 듀얼 게이트 터널링 트랜지스터를 기반으로 한 커패시터가 없는 DRAM을 위한 스페이서 엔지니어링 최적화
  7. 설명자:5G가 IoT에 매우 중요한 이유는 무엇입니까?
  8. 초고감도 바이오센서용 그래핀 기반 장치
  9. 금을 사용하는 양자 기술을 위한 플랫폼
  10. 공정 최적화를 위한 현장 데이터 수집