리튬 이온 배터리용 바인더 프리 전극으로서의 3차원 MoS2/Graphene 에어로겔

초록

하이브리드 MoS₂ 풍부한 미세 기공을 가진 환원된 그래핀 에어로겔은 열수법을 통해 제작된 후 동결 건조 및 어닐링 처리됩니다. 다공성 구조는 개선된 전자 전달을 촉진하고 향상된 이온 전달을 위한 3D 네트워크를 제공하여 증가된 용량 및 안정적인 긴 사이클 안정성 성능을 유도하는 바인더 및 전도성 물질 없이 직접 전극으로 작용할 수 있습니다. 특히 MoS₂의 특정 용량은 /환원된 그래핀 에어로겔은 1041 mA h g⁻¹ 입니다. 100 mA g⁻¹ 에서 . 또한 667 mA h g⁻¹ 의 가역 용량 58.6%의 용량 유지율은 100 주기 후에도 유지됩니다. 뛰어난 성능은 MoS₂의 시너지 효과에 유리합니다. 나노구조 및 그래핀 전도성 네트워크, 바인더 없는 디자인 이러한 결과는 전이금속-디칼코게나이드를 그래핀과 통합하여 에너지 저장 장치를 위한 풍부한 미세 기공과 3차원 네트워크를 가진 복합 재료를 제조하는 경로를 제공합니다.

소개

오늘날 전기 자동차와 유연한 전자 장치의 급속한 발전은 산업 및 연구 커뮤니티에서 에너지 저장 장치 개발의 기회를 열어줍니다[1, 2]. 다양한 에너지 저장 장치 중 리튬 이온 배터리(LIB)는 뛰어난 에너지 저장 능력과 긴 수명으로 인해 더 많은 관심을 받고 있습니다[3,4,5].

최근 LIB용 고성능 음극재에 대한 많은 연구가 이루어지고 있다. 뛰어난 전기화학적 성능을 가진 2차원 전이금속 디칼코게나이드(TMD)는 많은 주목을 받았고 LIB의 양극 재료로서 큰 잠재력을 보여주었다[6, 7]. 기존의 금속 산화물과 비교할 때, 전도성이 더 높고 층간 간격이 더 큰 금속 황화물은 향상된 전자 전달 및 향상된 이온 전달을 촉진합니다[8]. 금속 황화물 중 이황화몰리브덴(MoS₂ )은 독특한 층 구조와 고용량(ca. 670 mAh g⁻¹ )으로 인해 LIB의 양극으로 큰 장점을 보여줍니다. ). 그러나 그 구조는 충방전 과정에서 부피 변화로 인해 열화되기 쉽고 사이클 안정성이 좋지 않습니다. LIBs 양극으로서 MoS2의 운동 거동을 향상시키기 위한 수많은 시도가 수행되었습니다. 한 가지 방법은 리튬 이온의 확산 거리를 줄이기 위해 나노 크기의 구조를 합성하는 것이다[9, 10]. 또 다른 방법은 탄소 재료를 통합하여 복합 전도도를 개선하고 충방전 과정에서 부피 팽창을 억제하는 것입니다[11,12,13]. 탄소 나노튜브[18] 및 그래핀[19, 20]을 포함한 다양한 탄소 재료[14,15,16,17,18,19,20]는 MoS₂와 통합하는 데 사용됩니다. 그리고 그것이 유효한 것으로 판명되었습니다. 특히 그래핀은 뛰어난 전도성과 높은 표면적을 가지고 있어 많은 주목을 받고 있다. 최근 그래핀은 에너지 저장 분야[25] 뿐만 아니라 전도성 스위칭[21], 광발광[22], 화학적 세정[23], 가스 감지[24] 등 많은 분야에서 널리 연구되고 있다. 예를 들어, Teng et al. 준비된 MoS₂ 그래핀 시트의 나노시트, 1077 mAh g⁻¹ 의 용량 100 mA g⁻¹ 에서 150 주기 후 [26]. Liu et al. MoS₂ 합성물 제작 및 그래핀[27], 가역 용량 1300–1400 mAh g⁻¹ 얻었다. 그래핀을 MoS₂와 통합하는 방법 고용량의 안정적인 양극재를 확보하는 것은 여전히 진행 중인 과제입니다[11].

여기에서, MoS₂의 계층적 나노구조를 준비하기 위해 손쉬운 저비용 접근이 사용됩니다. /환원된 그래핀(MoS₂ /RGO) 에어로겔. 용매열 및 동결 건조 공정을 통해 MoS₂ /RGO 에어로젤이 제작되어 바인더가 없는 양극으로 직접 작용합니다. 이러한 구조는 MoS₂를 부여합니다. /그래핀 에어로겔은 양극 재료로 여러 가지 장점이 있습니다. 첫째, 그래핀은 MoS₂를 지원하는 매트릭스 역할을 합니다. 그래핀 시트가 다시 쌓이는 것을 방지하는 데 도움이 되는 나노구조. 둘째, 계층적 나노구조는 그래핀과 MoS₂ 사이에 우수한 접착력을 제공합니다. , 안정적인 구조를 보장하여 긴 사이클링 안정성을 보장합니다. 셋째, 전도성이 높은 그래핀은 향상된 전자 전달을 촉진하고 MoS₂의 부피 팽창을 완화하는 기초 역할을 합니다. 충전/방전 과정에서 넷째, 이러한 바인더가 없는 설계는 이온 확산 거리를 단축시켜 이온 수송을 향상시킵니다. 무 바인더 MoS₂로 준비된 가역 용량 /RGO 에어로젤은 최대 667 mA h g⁻¹ 입니다. 100 mA g⁻¹ 에서 100 주기 후. 이 방법은 고성능 리튬 이온 음극 소재를 제조하는 경로를 제공합니다.

자료 및 방법

MoS2/RGO 에어로겔 합성

모든 시약은 분석 등급이었습니다. 수정된 Hummers 방법은 추가 사용을 위해 산화 그래핀(GO)을 제조하는 데 사용되었습니다[28]. MoS₂ /RGO 에어로겔은 1단계 열수 방법으로 제조되었습니다. 자세하게, 60 mg의 (NH₄ )₂ 모스₄ 10 mL의 N에 용해되었습니다. , N -디메틸포름아미드(DMF) 용매. GO 수용액 5밀리리터(5 mg mL⁻¹ )을 첨가하고 몇 시간 동안 초음파 처리하여 균질한 용액을 얻었다. 용액을 테프론 라이닝된 오토클레이브에 넣고 밀봉하였다. 마지막으로 오븐에서 200°C로 12시간 동안 가열했습니다. 모스₂ /RGO 하이드로겔은 에탄올과 D.I.로 세척하여 얻었다. 물. 700°C에서 2 시간 동안 동결 건조 및 어닐링을 통해 최종 MoS₂ /RGO 에어로겔을 얻었다. 비교하자면 MoS₂ 분말은 GO를 첨가하는 것을 제외하고는 동일한 단계로 제조되었습니다.

특성화

MoS₂의 얇은 조각 MoS2/RGO 에어로겔에서 절단한 /RGO 필름을 사용하여 추가 특성화를 수행했습니다. 필드 미션 주사 전자 현미경(FESEM, JEOL JSM-6700F) 및 필드 방출 투과 전자 현미경(FETEM, FEI, Tecnai G2 F30)을 사용하여 얻은 샘플을 특성화했습니다. Cu Kα 방사선(λ)을 사용한 XRD 분석(PANalytical PW3040/60) =1.5406 Å) 10°~80°를 이용하여 MoS2/RGO 필름과 MoS2 분말의 물질을 확인하였다.

전기화학 측정

MoS2/RGO 필름은 바인더와 도전제 없이 직접 바인더가 없는 양극으로 사용되었습니다. 그것은 상대 전극 역할을 하는 리튬 호일과 분리막 역할을 하는 Celgard 2400 폴리머를 사용하여 글러브 박스에서 동전형 반쪽 전지로 조립되었습니다. 전해질은 에틸렌 카보네이트(EC) 및 디에틸 카보네이트(DEC)에서 1 M LiPF6로 구성되었습니다. 조립 후 셀은 추가 측정을 위해 글로브 박스에서 24시간 숙성되었습니다. 정전류 충전/방전(GCD) 측정은 배터리 측정 시스템(Land, China)으로 수행되었으며 순환 전압전류(CV) 테스트는 Autolab 워크스테이션(PGSTAT-302N)으로 수행되었습니다. 테스트는 0.01–3.0 V(vs Li1/Li)의 전위 범위에서 수행되었습니다. 전기화학적 임피던스 스펙트럼(EIS) 실험은 100 kHz에서 0.01 Hz까지의 주파수에서 10 mV 진폭으로 수행되었습니다.

결과 및 토론

MoS2/RGO 에어로겔은 열수법, 동결 건조 및 열처리로 제작되었습니다. 그림 1은 MoS2/RGO 전극의 준비 과정을 보여줍니다. 자세한 방법은 재료 및 방법에 설명되어 있습니다. 추가 파일 1:그림 S1 및 추가 파일 2:그림 S2와 같이 획득한 MoS₂ /RGO 에어로젤은 통합 구조를 유지할 수 있습니다. 우수한 기계적 거동은 전체 구조의 풍부한 다공성과 그래핀 층의 상호 연결로 인해 유리하여 바인더가 없는 전극으로 큰 잠재력을 보여줍니다.

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MoS2/RGO의 하이브리드 나노구조 제작 개략도

그림 2는 MoS₂의 형태를 나타냅니다. /rGO 에어로겔. 주름진 그래핀 층이 서로 연결된 다공성 구조가 관찰되었으며(그림 2a), 여기서 MoS₂ 나노구조는 전체 그래핀 층을 덮었다. MoS₂의 미세구조 /RGO 에어로겔은 TEM으로 추가로 확인되었습니다(추가 파일 3:그림 S3). 그림 2c 및 d에 표시된 것처럼 MoS₂ 장시간 초음파 처리 후에도 그래핀에 나노구조가 분포되어 MoS₂의 강한 상호작용을 보여줍니다. 그래핀에. 고해상도 TEM 이미지는 그림 2f에 표시되었습니다. 그래핀 층은 MoS₂로 덮였습니다. MoS₂의 (002) 및 (100) 평면을 담당하는 0.61 및 0.27 nm의 격자 간격이 관찰된 나노구조 [29]. SAED 패턴(그림 2f 삽입)은 MoS₂에 잘 일치하는 여러 회절 고리를 나타냅니다. 비행기 [30]. 이러한 결과는 그래핀 층의 MoS2 나노구조가 우수한 결정성을 나타냄을 보여주었다. 에어로겔의 원소 분포는 Mo, S 및 C 원소가 전체 구조와 거의 겹치는 곳에서 감지되어(그림 2g–j), 복합재의 성공적인 제조를 시사합니다.

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아 , b SEM 이미지 및 c , d , e , f MoS2/RGO 샘플의 TEM 및 HRTEM 이미지. 지 –j Mo, S 및 C 요소의 TEM-EDX 매핑. f의 삽입 해당 SAED 패턴

X선 회절(XRD) 실험도 수행되었습니다. 그림 3a와 같이 MoS₂의 XRD 패턴은 분말은 육각형 2H–MoS₂를 담당할 수 있습니다. (JCPDS 37-1492). 2θ에서 강한 반사 피크 =14.2^o d-간격이 0.62 nm인 (002) 평면에 속합니다. 모스₂ /RGO 합성물은 순수한 MoS₂와 유사한 결정 구조를 나타냄 , 계층 구조를 나타냅니다. MoS₂와 비교 샘플에서 26.3°의 명백한 피크가 MoS2/RGO 샘플에서 관찰되었으며, 이는 그래핀의 (002) 회절 피크일 수 있으며, 이는 복합재에서 그래핀 물질을 드러냅니다[31]. 14.4°, 32.7° 및 58.3°에서 명백한 피크가 MoS₂의 (002), (100) 및 (110) 회절 피크에 기인한다는 점을 지적할 가치가 있습니다. , 이는 이전 SAED 패턴 결과와 일치했습니다. 특히 MoS₂ (002) 적층된 MoS2의 적층 특성을 나타내는 반사 피크는 MoS₂에 대해 약화되었습니다. /RGO 합성물은 몇 층의 MoS2 구조의 형성을 암시합니다[26, 32]. 그래핀의 피크는 MoS₂보다 더 명확했습니다. , MoS₂ MoS₂의 그래핀 층으로 감쌌습니다. /RGO 에어로젤 [26, 32].

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아 MoS2/RGO 및 MoS2 샘플의 XRD 패턴. ㄴ MoS2/RGO 및 MoS2의 라만 스펙트럼

MoS₂의 특성을 추가로 확인하려면 나노구조 및 그래핀 층, 라만 분광 측정도 수행되었다[33,34,35]. 그림 3b와 같이 MoS₂ /RGO 에어로젤은 E_2g를 보여주었습니다. 및 A_1g MoS₂의 피크 380.2 및 403.6 cm⁻¹ 의 주파수에서 [18, 36]. 특히, 단일 레이어 MoS₂ 다른 제조 방법을 사용하는 나노구조는 A_1g를 표시합니다. 402–404 cm⁻¹ 에서 피크 [37,38,39], MoS₂의 몇 가지 계층을 추가로 식별 MoS₂의 수정 /RGO 에어로겔. 게다가 1354.3 cm⁻¹ 에서 피크 및 1591.6 cm⁻¹ 그래핀의 D-밴드와 G-밴드의 특징적인 피크인 그림 3b에서 관찰되었다[40,41,42]. 강도 비율 I _D /나 _G 일반적으로 그래핀 결함과 관련이 있습니다[35]. 값은 1.08로 계산되었으며, 일부 결함이 있는 환원된 그래핀을 나타냅니다[34].

MoS2/RGO 전극의 성능을 입증하기 위해 0.5 mV s⁻¹ 스캔 속도에서 CV 측정 실행했다. 그림 4a는 MoS2/RGO 합성물의 처음 세 CV 곡선을 보여줍니다. MoS₂의 첫 번째 음극 스윕에서 0.65 V에서 환원 피크가 있을 때 0.95 V에서 넓은 숄더 피크가 관찰되었습니다. /RGO 전극. 0.95V의 피크는 MoS₂로의 Li+ 삽입과 관련되었습니다. LixMoS₂를 형성하는 중간층 공간 , 상변환 과정을 통해 2H(삼각기둥)에서 LixMoS2의 1T(팔면체) 구조가 됩니다[43, 44]. 0.65V의 다른 피크는 Li₂를 형성하는 과정을 수반했습니다. LixMoS₂의 S 및 금속성 Mo [45,46,47]. 다음 방전 스캔에서 1.80 V 및 1.05 V에 위치하는 환원 피크가 있어 다른 반응 과정을 나타냅니다. 2.34 V에서 하나의 뚜렷한 피크가 MoS₂에서 관찰되었습니다. 역 양극 스캔의 /RGO 전극은 황의 형성을 나타냅니다[43]. 유황, Mo 및 약간의 MoS₂ 첫 번째 사이클 이후에 형성되었고 이후 사이클에서도 동일하게 유지되었습니다[36, 48,49,50]. 또한 방전 곡선은 첫 번째 곡선을 제외하고는 동일하여 MoS₂의 전기화학적 안정성을 나타냅니다. /RGO 합성. MoS2/RGO 및 MoS2 전극의 처음 세 개의 GCD 곡선은 그림 4b 및 c에 나와 있습니다. MoS2 전극의 첫 번째 방전 주기에서 1.05 V와 0.65 V에서 두 개의 전위 안정기가 관찰되었습니다(그림 4b). 1.05 V 고원은 LixMoS₂를 형성하는 과정을 동반했습니다. , 그리고 0.65 V에서의 안정기는 MoS₂로부터 Mo 입자를 형성하는 반응과 관련이 있습니다. . 첫 번째 방전 사이클에서 기울기 전위 곡선이 0.52 V 아래에서 관찰되었는데, 이는 전해질의 열화로 인해 젤과 같은 고분자 층이 나타남을 의미합니다[51,52,53]. MoS₂ 전극은 다음 방전 곡선에서 2.0, 1.20 및 0.45 V에서 안정기를 보였다. 충전 과정에서 MoS2 전극에 대해 2.35 V에서 명백한 안정기가 관찰되었습니다. MoS2/RGO 전극(그림 4c)의 경우, 1.1–0.6 V에서 1주일의 안정기를 제외하고 첫 번째 방전 주기 동안 명백한 잠재적 안정기가 없었습니다. ]. MoS2/RGO 전극은 CV 결과와 일치하는 다음 방전 사이클에서 1.95 V에서 안정기를 표시했습니다. 충전 주기 동안 MoS₂ /RGO 전극은 2.2 V에서 안정기를 나타냈습니다. 그림 4c는 MoS₂의 방전 및 충전 용량을 보여줍니다. /RGO 및 MoS₂ 전극. 모스₂ /RGO 전극 전달 2215 mAh g⁻¹ 가역 충전 용량이 1202 mAh g⁻¹ 인 첫 번째 방전 주기의 방전 용량 . MoS₂에 해당하는 값 671.1 mAh g⁻¹ 및 680.5 mAh g⁻¹ , 각각. 전해질의 분해 및 SEI 막의 형성과 같은 첫 번째 사이클의 비가역적 과정은 비가역성을 초래합니다[55, 56].

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0.5 mV s-1(a ). MoS2/RGO 에어로겔의 정전류 충전 및 방전 곡선(b ) 및 MoS2(c ) 100 mA g-1의 전류 밀도에서 전극. d 다른 전류 밀도에서 MoS2/RGO 에어로겔 및 MoS2 전극의 속도 성능. 이 100 mA g-1의 정전류 밀도에서 MoS2/RGO 에어로겔 및 MoS2 전극의 사이클링 성능

MoS₂의 속도 성능 /RGO 전극 및 MoS₂ 전극은 그림 4d에 나와 있습니다. 단일 MoS₂와 비교 전극, MoS2/RGO 전극은 더 높은 용량을 제공했습니다. 1041 mAh g⁻¹ 의 용량 100 mA g⁻¹ 에서 MoS₂에 대해 50번의 방전/충전 주기 후에 유지되었습니다. /RGO 전극은 우수한 전기화학적 가역성과 긴 주기 안정성을 나타냅니다. 이에 비해 MoS₂ 전극은 512 mAh g⁻¹ 만 유지됨 100 mA g⁻¹ 에서 용량 50 주기 후. 또한, 전류가 2000 mA g^-1 에서 감소할 때 MoS2 전극의 비용량이 많이 감소하였다. ~100 mA g⁻¹ . 100 mA g⁻¹ 에서 수행된 사이클링 결과 그림 4e에 나와 있습니다. MoS₂ 전극은 열악한 사이클링 성능을 보였다. 초기 20 주기에는 거의 감소가 없었습니다. 그러나 가역(충전) 용량은 892 mAh g⁻¹ 에서 감소했습니다. ~ 110 mAh g⁻¹ 100 주기 후에는 12.3%의 용량 유지만 가능합니다. 반대로 MoS₂ /RGO 전극은 개선된 주기 안정성을 나타냅니다. 667 mAh g⁻¹ 의 가역 용량 , 58.6%의 용량 유지율이 100 주기 후에 얻어졌습니다. 순수 RGO 전극의 속도 성능 및 사이클링 안정성도 추가 파일 4:그림 S4에 표시되었습니다. RGO 전극은 297.8 mAh g⁻¹ 의 가역 충전 용량을 제공했습니다. 100 mA g⁻¹ 에서 . 전류밀도가 2000 mA g⁻¹ 에서 반전될 때 ~100 mA g⁻¹ , 202.2 mAh g⁻¹ 의 특정 용량 RGO 전극에 대해 유지되었습니다. 표 1은 문헌[57,58,59,60,61,62,63]에 나열된 MoS2/rGO를 기반으로 한 무바인더 MoS2/RGO와 기타 재료의 용량 성능을 비교한 것입니다. 바인더가 없는 MoS2/RGO 전극은 지금까지 보고된 다른 다공성 MoS2/RGO 복합 재료와 비교하여 높은 용량을 나타냄을 알 수 있습니다. 이러한 결과는 RGO의 성공적인 도입과 리튬-리튬 공정에서 RGO가 수행한 중요한 역할을 보여줍니다[57]. 첫째, 다공성 구조의 그래핀 층은 MoS₂에 대한 풍부한 활성 사이트를 제공했습니다. MoS₂의 응집을 방지하는 데 도움이 되는 나노구조 . 둘째, 전도성이 좋은 그래핀은 전달 저항을 감소시키고 전자 전달 및 이온 전달을 촉진하여 속도 능력을 향상시켰습니다. 셋째, 다중 규모의 다공성 구조를 갖는 RGO 에어로겔은 탄성 완충층 역할을 하여 델리튬-리튬 공정 동안 부피 팽창을 효과적으로 억제하여 더 나은 사이클링 안정성을 유도합니다.

전기화학적 임피던스 스펙트럼(EIS) 측정도 샘플에 대해 수행되었습니다. 그림 5a는 MoS₂의 Nyquist 플롯을 보여줍니다. /RGO 및 MoS₂ 100 mA g⁻¹ 에서 100번의 방전-충전 사이클 후 전극 . 첫 번째 반원은 SEI 필름(R1)을 통한 리튬 이온 이동 저항을 나타내고 두 번째 반원은 전하 수송 저항(Rct)을 나타냅니다. R2는 전해질의 저항과 관련이 있습니다[26]. ZView 소프트웨어는 MoS₂의 곡선에 맞게 사용되었습니다. /RGO 및 MoS₂ 전극. 적합 값은 그림 5b에 나열되어 있습니다. 표에서 MoS₂의 Rct /RGO 전극(10.74Ω)이 MoS₂보다 작음 (44.07 Ω), rGO가 방전-충전 동작 동안 개선된 전하 이동 프로세스를 가져올 수 있고 따라서 우수한 속도 기능을 나타낼 수 있음을 나타냅니다.

<그림>

아 100 mA g⁻¹ 에서 100회 주기 후 완전히 충전된 상태에서 MoS2/RGO 및 MoS2 전극의 Nyquist 플롯 , 및 b a에 제시된 등가 회로 모델에 따라 데이터를 피팅하여 얻은 R1, R2 및 Rct의 값

반복된 충방전 과정이 준비된 샘플에 미치는 영향을 조사하기 위해 100 mA g⁻¹ 에서 100 사이클 후 샘플에 대해 FESEM을 수행했습니다. (추가 파일 1:그림 S1). MoS2/RGO 전극은 균열 없이 잘 구조를 유지했습니다. 추가 파일 1의 단면 FESEM 사진:그림 S1c 및 d는 나노 입자가 분포된 고압축성 그래핀 층을 보여줍니다. 반대로 깨끗한 MoS₂에는 심각한 균열이 관찰되었습니다. 추가 파일 1의 전극:그림 S1e 및 f. 이는 주로 사이클링 동안 활물질의 부피 팽창으로 인해 입자 응집으로 이어졌기 때문입니다. 위의 결과는 순환 과정에서 부피 팽창을 억제하는 그래핀 층의 중요한 역할을 보여줍니다(추가 파일 5:그림 S5).

결론

요약하면 하이브리드 MoS₂ 풍부한 미세 기공을 가진 /RGO 에어로겔이 제작되었습니다. 준비된 에어로겔은 바인더와 전도체 없이 전극으로 사용됩니다. 풍부한 미세 기공을 갖는 이러한 나노 구조 설계는 향상된 전자 전달을 위한 3D 네트워크를 제공하는 데 유리할 뿐만 아니라 전송 거리를 단축할 수 있으므로 LIB용 양극 전극으로서 향상된 전기화학적 속도 및 안정적인 성능으로 이어질 수 있습니다. 모스₂ /RGO 에어로젤은 1041 mA h g⁻¹ 의 특정 용량을 제공합니다. 100 mA g⁻¹ 에서 이는 MoS2 나노구조와 전도성 그래핀의 시너지 효과와 풍부한 미세 기공을 가진 바인더 프리 디자인에 기인한다. 이 연구는 고용량 및 긴 사이클 안정성을 갖춘 LIB용 고성능 애노드 전극을 구현하는 데 유용한 통찰력을 제공합니다.

약어

2H:: 삼각 프리즘
이력서:: 순환 전압전류도
EIS:: 전기화학 임피던스 분광법
GCD:: 정전류 충전/방전
이동:: 산화 그래핀
HRTEM:: 고해상도 TEM
LIB:: 리튬 이온 배터리
MoS₂ :: 이황화 몰리브덴
MoS₂ /RGO:: 모스₂ / 환원그래핀
R1:: SEI 필름을 통한 리튬 이온 이동 저항
R2:: 전해질의 저항
권한:: 전하 수송의 저항
SAED:: 선택된 영역 전자 회절
TMD:: 2D 전이 금속 디칼코게나이드
XRD:: X선 회절

원자층 증착으로 제작된 Ru 기반 RRAM 장치의 음의 차동 저항 효과 온도 의존적 HfO2/Si 계면 구조의 진화와 그 메커니즘

나노물질