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착용 가능한 센서용 은 코팅 탄소 나노튜브의 주름 구조 네트워크

초록

소프트 스트레인 기반 센서는 웨어러블 감지, 행동 모니터링 및 전기 생리학적 진단을 포함한 다양한 분야에서 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 그러나 모든 응용 분야에서 이러한 센서의 기능은 높은 감도, 높은 동적 범위 및 낮은 전력 소비로 인해 제한됩니다. 본 논문에서는 구조, 표면 및 민감한 단위 처리를 통해 소프트 스트레인 기반 센서의 감도와 변형 범위를 개선하는 데 중점을 둡니다. 나노은(Ag) 코팅된 하이드록실 기능화된 다중벽 탄소 나노튜브(OH-f MWCNTs)가 고도의 급성 감지를 위해 탐색되었습니다. 연신 및 증착 방법을 사용하여 Ag@OH-f MWCNT 및 PDMS(폴리디메틸실록산)는 소프트 스트레인 기반 센서를 위해 주름진 샌드위치 구조로 제작됩니다. 전자적 특성은 게이지 계수(GF) =ΔR/R0이 412.32이고, 변형률 범위가 42.2%인 것을 특징으로 하였다. 또한 당사의 소프트 스트레인 기반 센서는 유연성, 초경량 및 착용성 측면에서 매우 편안한 경험을 포함한 기능을 보여줍니다. 마지막으로 호흡 감지, 얼굴 및 손 움직임 인식을 포함하여 예외적인 저항 변화를 테스트하여 일부 생리적 및 행동적 특징을 샘플링할 수 있습니다. 이 실험은 매우 민감하고 광범위한 감지 범위를 갖는다는 점에서 우월함을 보여줍니다.

소개

센서는 의료 진단, 특히 유연한 센서에서 중요한 역할을 하며, 이는 장기 건강 모니터링 애플리케이션을 위한 실행 가능성과 신축성을 제공합니다[1,2,3,4,5,6,7,8]. 최근 소프트 스트레인 센서는 인공 와우[9], 대뇌 피질 제어 보철[10], 전자 피부 접촉[11] 및 기타 다양한 애플리케이션[12]과 같은 유연한 센서의 적용 범위를 넓혔습니다. ,13,14,15,16]. 따라서 고급 의료 응용 프로그램의 요구 사항을 충족하기 위해 선택성, 감도 및 응답 측면에서 성능을 향상시키는 것이 중요합니다.

웨어러블 플렉서블 스트레인 센서의 지속적인 개발은 최근 대중화되었습니다[17,18,19,20,21,22,23]. 은(Ag) 나노물질과 탄소나노물질은 우수한 전기적, 기계적 특성, 저렴한 비용, 높은 안정성으로 인해 연구자들의 관심을 끌고 있다[16, 24, 25, 26]. 예를 들어, Ag 나노와이어 네트워크와 PDMS(Polydimethylsiloxane) 엘라스토머로 적층된 샌드위치 구조의 스트레인 센서는 전기 전도성과 감도의 의식적인 특성을 나타냅니다[16, 24, 25, 26]. 탄소 나노 물질을 기반으로 하는 스트레인 센서는 고유한 투명도와 안정성을 가지고 있습니다[20, 27, 28, 29]. 이러한 센서는 Ag와 탄소 나노물질의 장점을 통합하여 최적화할 수도 있습니다. 그래핀/은 나노입자(AgNP) 상승적 전도성 네트워크를 갖는 샌드위치 구조 변형 센서를 준비하여 AgNP를 제자리에서 형성하고, 그래핀 나노시트를 이들 사이의 전도성 브리지로 사용하여 웨어러블 센서의 우수한 초기 전도성 및 높은 내마모성을 확보했습니다. [30]. Shuqi Liu et al. 그래핀 옥사이드 및 Ag 나노와이어의 혼합물인 고분자 미소구체에 액체 PDMS를 부어 전도성 복합층을 가진 유연한 스트레인 센서를 준비했습니다[31]. 그러나 Ag와 탄소 나노물질의 조합은 최종 나노복합체의 신축성을 감소시켜 소프트 스트레인 센서에서의 실제 적용을 제한합니다. 탄소나노튜브(CNT)와 AgNP[32]를 사용한 우리의 이전 연구에 따르면, 신축성의 감소는 Ag와 탄소 나노물질 사이의 낮은 결합 에너지와 관련이 있습니다.

이 작업에서 우리는 CNT와 Ag 사이의 결합 에너지를 증가시키기 위해 OH-f MWCNT를 사용하고[33], 완전히 새로운 주름진 구조 설계를 사용하여 새로 개발된 Ag@OH-f MWCNT 나노복합체를 기반으로 하는 소프트 스트레인 센서를 구축했습니다. 결합 에너지와 구조의 조합은 소프트 변경을 민감하고 덜 저항하게 만듭니다. Ag@OH-f MWCNT 나노복합체는 CNT 표면의 나노은 입자를 직접 환원시켜 제조하였다. 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)으로 구성요소를 확인하고 형태를 특성화했습니다. 주름진 샌드위치 구조의 소프트 스트레인 센서는 나노복합체와 PDMS를 사용하여 사전 스트레칭, 표면 처리 및 증착 방법으로 준비했습니다. 센서의 전기적 특성과 압저항 효과를 분석하였다. 마지막으로 휴대용 호흡 감지기에 센서를 적용해 표정 인식을 테스트했다.

방법 섹션

Ag@OH-f MWCNT의 합성 및 특성화

Ag@OH-f MWCNT 합성물은 간단한 환원법을 통해 얻었다. 먼저, 0.5 mg OH-f MWCNT(Chengdu Organic Chemicals Co. Ltd.에서 구매)를 300 mL 질산은 수용액(AR, 3 × 10 -2 중). 이어서, 혼합물을 오일 배스에서 자기 교반하면서 120℃에서 가열하였다. 다음으로, 10 mL 시트르산나트륨 수용액(AR, 1 wt%)을 혼합물에 첨가하였다. 마지막으로, 혼합물을 1시간 동안 더 교반하면서 가열하였다.

Ag@OH-f MWCNT의 특성화는 주사 전자 현미경(SEM) 및 투과 전자 현미경(TEM)을 통해 수행되었습니다. 제품의 SEM 이미지는 주사전자현미경(SEM, JEOL S4700, Japan)으로 촬영하였다. TEM 관찰은 JEOL JEM-1200EX(일본) 전자현미경에서 수행되었습니다.

센서 준비

센서의 제조 순서도는 그림 1에 나와 있습니다. PDMS 필름은 PDMS 엘라스토머와 가교제의 혼합물을 탈기 및 가열(1시간 동안 75°C)하여 얻었습니다. PDMS 필름을 벗겨내고 110%로 연신한 후 직사각형 구멍이 있는 접착 테이프로 고정하였다. 표면을 Schwarze P3C로 300초 동안 처리한 후, Ag@OH-f MWCNT 솔레이션을 연신된 PDMS 필름의 직사각형 구멍에 떨어뜨렸습니다. 그런 다음 접착 테이프를 제거하고 두 개의 구리 전극을 나노복합체 위에 붙였습니다. PDMS 용액을 맨 위에 떨어뜨리고 75°C로 1시간 동안 가열하여 나노복합체와 전극 사이의 연결을 강화했습니다. 주름진 구조의 Ag@OH-f MWCNT 기반 소프트 스트레인 센서는 프리스트레스가 해제된 후 얻어졌습니다. 비교를 위해 표면 처리 없이 얻은 센서를 준비했습니다.

<그림>

센서의 제조 공정 순서도

센싱 측정

전류-전압 특성을 연구하기 위해 상온에서 디지털 오실로스코프(keithley2400)를 통해 센서의 I-V 곡선을 측정했습니다. 센서의 양 끝단을 전동식 무빙스테이지(Zolix TSM25-1A 및 Zolix TSMV60-1s)에 부착하고 센서의 저항을 측정하였다. 스트레인 감지 특성은 움직이는 전동 스테이지를 제어하여 테스트했습니다.

애플리케이션 측정

회로를 연결하고 패키징하여 얻을 수 있는 Ag@OH-f MWCNT 기반 소프트 스트레인 센서를 검증하기 위해 휴대용 호흡 감지기를 설정했습니다. 그런 다음 감지기는 지원자의 배에 접촉하는 센서로 테스트되었습니다. 이 센서의 얼굴 표정 인식은 자원 봉사자의 얼굴의 다른 부분에 센서를 접촉하여 측정되었습니다.

결과 및 토론

Ag@OH-f MWCNT 나노복합체의 형태와 센서의 단면은 SEM과 TEM으로 특성화하였다. CNT의 길이와 직경은 각각 1.25 ± 0.75 μm 및 40 ± 10 nm입니다. Ag는 TEM 이미지(그림 2a)와 같이 합성 후 CNT에 코팅되었습니다. 고해상도 투과 전자 현미경(HRTEM) 이미지를 촬영한 결과 결정화 격자가 명확하게 관찰되었습니다(그림 2b). 0.224 nm의 격자 공간은 (111) 방향으로 Ag 결정화 동안 가장 낮은 표면 에너지를 나타냈다. 나노복합체의 형태는 SEM 이미지에 나와 있습니다(그림 2c). 합성 과정에서 AgNO3의 은 이온 OH-f MWCNT의 히드록실기에 의해 정전기적으로 농축된 후 Ag 원자로 환원되었다. 원자는 CNT를 따라 결정화되어 최종적으로 직경이 200 ± 100 nm인 불룩한 목걸이와 같은 나노복합체를 형성했습니다.

<그림>

Ag@OH-f MWCNT의 TEM 이미지. Ag@OH-f MWCNT의 HRTEM 이미지. Ag@OH-f MWCNT의 SEM 이미지. d 주름진 구조의 Ag@OH-f MWCNT 기반 소프트 스트레인 센서의 단면 SEM 이미지

PDMS는 표면 처리 전에 미리 연신되었고, PDMS를 느슨하게 한 후에는 그림 3a와 같이 주름진 구조를 얻었다. PDMS의 표면 처리는 고에너지 산소 플라즈마에 의해 수행되었습니다. 분자 사슬의 끝이 –Si–CH3에서 변경되었습니다. -Si-OH로, PDMS 표면은 소수성에서 친수성으로 전환되었다[34]. 도 3b 및 c는 산소 플라즈마 표면 처리 전과 후 PDMS의 물 접촉각이 각각 91.6° 및 47.9°임을 입증한다. 친수성의 향상은 PDMS와 나노복합체 사이의 결합력을 증가시켰습니다.

<그림>

PDMS의 물 접촉각(a ) 앞과 (b ) 산소 플라즈마 표면 처리 후. PDMS pre-stretching 및 산소 플라즈마 표면 처리의 도식 모델

PDMS와 나노복합체를 결합한 후, 다른 PDMS 층이 윗면을 덮도록 추가되어 나노복합체가 변성되거나 분리되는 것을 방지했습니다. 중간층에 주름진 구조를 가진 Ag@OH-f MWCNT 나노복합체는 그림 2d와 같이 SEM에 의해 입증되었습니다. 주름층의 형성은 목걸이와 같은 나노복합체층을 평면에서 3차원 구조로 변형시킨다. 센서가 외부 응력에 의해 변형되면 주름이 다시 늘어나고 나노 물질 층이 계속 늘어나므로 신축성 범위가 확장되고 본 연구에서 안정적인 감지를 달성합니다.

흥미롭게도 주름진 구조의 전도성은 실온에서 전류-전압 측정을 특징으로 하는 평평한 구조와 비교하여 상당히 향상되었습니다(그림 4d 및 e). 두 센서 모두 오믹(ohmic) 거동을 보였고, 평평한 구조와 주름진 구조의 센서의 저항은 각각 256.41Ω과 53.13Ω으로 계산되었다. 센서 전도도의 핵심인자인 Ag@OH-f MWCNTs의 양이 평평한 구조보다 주름진 구조에서 4.8배 더 많았음을 시사한다.

<그림>

소프트 스트레인 센서의 스트레치 테스트. , (b ) 및 (c ) 도식 감지 모델; (d의 I-V 곡선 ) 주름 구조가 없는 Ag@OH-f MWCNT 기반 소프트 스트레인 센서 및 (e ) Ag@OH-f 주름진 구조의 MWCNT 기반 소프트 스트레인 센서. (f를 사용한 센서의 상대 저항 변화 ) 주름 구조가 없는 Ag@OH-f MWCNT 기반 소프트 스트레인 센서 및 (g ) Ag@OH-f 주름진 구조의 MWCNT 기반 소프트 스트레인 센서

상대 저항 변화는 소프트 스트레인 센서의 성능을 평가하는 데 사용되는 주요 매개변수 중 하나입니다. 이와 같이 Ag@OH-f MWCNT 기반 스트레인 센서의 상대 저항 변화를 그림 4f 및 g와 같이 조사했습니다. 여기서 ΔR 및 R0는 변형 시 상대 저항 변화와 센서의 초기 저항을 나타냅니다. , 각각. 평면 센서의 상대 저항 변화는 센서에 대한 42%의 최대 변형률에서 4.18이고(그림 4f), 주름형 센서의 경우 174입니다(그림 4g). 또한, 평면 센서의 경우 30% 이상의 변형률에서 저항이 변한 반면 주름진 센서의 경우 20% 이상의 변형률에서 저항이 변경되었습니다. 저항 변화는 PDMS의 Ag@OH-f MWCNT 네트워크 구성이 신축 변형률 하에서 변경되기 시작했을 때 발생했습니다. 더 강한 변형은 나노복합체의 더 큰 간격으로 네트워크를 분리하여 터널링 채널과 전도성 경로의 수를 줄였습니다. 또한 L0를 초기 길이로 정의하고 ΔL을 센서에 대한 축 방향 변형 하에서의 상대 연신율로 정의했습니다. 따라서 센서의 게이지 계수(GF)는 다음 방정식으로 계산할 수 있습니다. 수학{L}/{\mathrm{L}}_0} \). 평평한 구조와 주름진 구조를 가진 스트레인 센서의 GF는 각각 9.95와 412.32였습니다. GF는 소프트 스트레인 센서의 감도 지표입니다. 평평한 구조와 비교하여 주름진 센서에 의해 달성된 40배 이상의 GF는 나노복합체의 디자인을 나타내었고 추가 감지 응용 분야에 효과적이었습니다.

그런 다음 그림 4와 같이 스트레칭 과정에서 주름진 구조의 스트레인 센서의 저항 변화를 이해하기 위한 모델을 제안했습니다. 그림 4a는 소프트 스트레인 센서 내부의 Ag@OH-f MWCNT 기반 전도성 네트워크 자유 상태의 주름진 구조. 나노복합체와 PDMS 사이의 결합 친화도를 향상시키기 위한 PDMS의 표면 처리는 구성 및 결과적으로 센서의 성능에 필수적이었습니다. 처리하지 않으면 소수성 PDMS에 대한 나노복합체의 결합이 불량하고 네트워크가 쉽게 파괴되며 스트레칭에 의해 전도성 경로가 차단됩니다(그림 4b). 따라서 터널링 채널과 전도 경로 수가 급격히 감소하여 센서의 저항이 갑자기 증가하여 결국 감지 범위가 좁고 감도가 낮아졌습니다. 반면, 산소 플라즈마 표면 처리 후 친수성 PDMS는 나노복합체에 대해 높은 친화성을 보였다(Fig. 4c). 그림 4d에서 볼 수 있듯이 Ag@OH-f MWCNT 네트워크가 스트레칭에 의해 연속적으로 분리됨에 따라 터널링 채널과 전도성 경로 수가 점차 감소했습니다. PDMS 표면 처리를 한 센서의 관련 저항 변화는 표면 처리를 하지 않은 경우보다 41.63배 더 크게 나타났으며, 이는 표면 처리가 새로운 Ag@OH- 기반 센서의 감도 및 변형 범위를 향상시키는 데 중요한 역할을 함을 시사합니다. f MWCNT 합성물.

본 연구에서는 휴대용 호흡 감지기에서 개발된 고감도 감지 장치와 상대적으로 넓은 변형률 범위를 적용하였다(Fig. 5). 호흡 주파수를 모니터링하는 감지기의 작업 장면은 그림 5a 및 b에 나와 있습니다. 검출기의 평면도와 저면도는 각각 그림 5c와 d에 나와 있습니다. 숨을 들이쉴 때 센서가 늘어나고 저항이 증가했습니다. 결과적으로 전류가 너무 낮아 발광 다이오드(LED)를 켤 수 없었습니다. 대조적으로, LED는 공기를 내뿜을 때 켜졌습니다. 또한, 상대 저항 변화는 그림 5e 내지 g에서와 같이 얼굴 표정 인식에서 이용되었다. 지원자가 깜박거렸을 때 센서의 상대 저항 변화는 4 ± 0.2였습니다. 동일한 지원자가 인상을 찌푸렸을 때 상대 저항은 동일하게 5.5 ± 0.1로 변경되었습니다. 흥미롭게도 미소 짓는 행동은 15 ± 0.5만큼 큰 상대 저항 변화를 일으켰습니다. 결과는 Ag@OH-f MWCNT 기반 주름 구조 센서가 의료 감지 및 인간 동작 감지에서 광범위한 응용 분야에 큰 잠재력을 가지고 있음을 보여주었습니다.

<그림>

주름진 구조의 Ag@OH-f MWCNT 소프트 스트레인 센서를 기반으로 하는 휴대용 호흡 감지기. 숨을 들이쉬고 (b ) 숨을 내쉰다. (c ) 상단 및 (d ) 휴대용 호흡 감지기의 바닥 시야. 얼굴, (f ) 인상을 찌푸리고 (g ) 깜박임의 미소 표정 인식

다양한 소프트 스트레인 센서 재료의 성능을 비교합니다. 표 1에서 보는 바와 같이 다른 1D 나노소재 기반의 스트레인 센서와 비교하여 OH-f MWCNT 기반의 주름 구조 센서는 우수한 전도성, 향상된 신축성, 우수한 게이지 계수 및 안정성을 나타냈습니다.

결론

본 논문에서는 PDMS와 Ag@OH-f MWCNT로 구성된 고감도 및 유연성 스트레인 센서를 설계하였다. Ag@OH-f MWCNT 나노복합체는 MWCNT를 따라 Ag 이온을 환원시켜 제조하였다. OH-f MWCNT의 사용은 나노복합체의 신축성을 향상시키기 위해 Ag 원자와 탄소 나노물질의 결합 에너지를 증가시키는 데 필수적입니다. 동시에 PDMS의 산소 플라즈마 표면 처리는 안정적이고 독특한 감지 성능을 달성하기 위해 주름진 구조의 센서를 제조하는 데 중요합니다. 저항 및 압저항 결과는 센서가 412의 GF와 42.2%의 변형률 범위를 갖는다는 것을 보여줍니다. 호흡 주파수 테스트 및 안면 동작 모니터링에 센서를 사용함으로써 새로운 나노복합체와 주름진 구조를 가진 잘 설계된 센서가 웨어러블 기기에서 다양한 목적으로 사용될 수 있음이 입증되었습니다.

데이터 및 자료의 가용성

이 기사의 결론을 뒷받침하는 데이터 세트는 기사(및 추가 파일)에 포함되어 있습니다.

약어

Ag@OH-f MWCNT:

은 코팅된 하이드록실 기능화된 다중벽 탄소 나노튜브

AgNP:

은 나노입자

CNT:

탄소 나노튜브

GF:

게이지 계수

LED:

발광 다이오드

OH-f MWCNT:

하이드록실 기능화된 다중벽 탄소 나노튜브

PDMS:

폴리디메틸실록산

SEM:

주사 전자 현미경

TEM:

투과전자현미경


나노물질

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