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원자층 증착에 의해 제조된 그래핀 에어로겔/ZnO 나노막 복합 양극의 사이클링 유도 용량 증가

초록

산화아연(ZnO) 나노막/그래핀 에어로겔(GAZ) 합성물은 원자층 증착(ALD)을 통해 성공적으로 제조되었습니다. GAZ 복합 재료의 구성은 ALD 주기 수를 변경하여 제어할 수 있습니다. 실험 결과는 100 ALD 주기의 ZnO 나노막을 가진 GAZ 복합 재료로 만든 양극이 가장 높은 비용량과 최고의 속도 성능을 나타냄을 보여주었습니다. 처음 500 주기 동안 2배 이상의 용량 증가가 관찰되었으며 최대 용량 1200 mAh g −1 1000 mA g −1 의 전류 밀도에서 500 주기 후에 관찰되었습니다. 상세한 전기화학적 조사에 기초하여, 우리는 저전압 영역에서 동역학적으로 활성화된 전해질 분해로 인한 중합체 층의 형성을 수반하는 합금화 공정에 의한 현저한 사이클링 유도 용량 증가를 돌립니다.

<섹션 데이터-제목="배경">

배경

리튬 이온 배터리(LIB)는 안전성, 높은 에너지 밀도 및 낮은 자체 방전으로 인해 소비자 전자 제품의 주요 전원 소스였습니다[1,2,3,4]. 그러나 기존의 양극 재료인 흑연 탄소는 372 mAh g −1 의 충방전 용량을 제공합니다. , 향후 전기 자동차의 유망한 양극 재료가 아닙니다. 나날이 증가하는 전기차 수요를 만족시키기 위해서는 비용량이 높은 새로운 음극재 개발이 시급하다. 그래핀[5,6], 전이금속산화물(ZnO[7,8], Fe2)과 같은 비흑연성 탄소 O3 [9, 10], 공동3 O4 [11, 12], MnO2 [13]), 그리고 이들의 복합재 [14,15,16]는 양극 재료로 흑연을 대체할 유망한 물질이었습니다.

ZnO는 높은 이론용량(978 mAh/g, 흑연보다 거의 2배 높음), 높은 리튬 이온 확산 효율, 저렴한 비용 및 환경 친화성으로 인해 많은 관심을 받았습니다[17, 18]. 그러나 ZnO는 큰 부피 팽창/수축(~ 163%)과 낮은 전도성으로 인해 빠른 용량 페이딩과 열악한 사이클링 성능으로 이어집니다[8, 19]. 이러한 문제를 해결하기 위해 ZnO 나노구조(나노로드 어레이[20] 및 나노시트[7]) 및 탄소 기반 복합재[21, 22]의 사용을 포함하여 다양한 전략이 추진되었습니다. Zhao et al. [21] 침지 공정을 통해 3차원 탄소/ZnO 나노막 복합 발포체를 제작했습니다. 복합 재료는 2 A g −1 에서 700 주기 후에 초기 용량의 92% 이상을 유지할 수 있습니다. ZnO 나노막의 유연성과 탄소 발포체를 통한 효과적인 전자/이온 수송 때문입니다. 이전 작업에서 ZnO/팽창 흑연 합성물도 성공적으로 합성했으며 438 mAh g −1 용량을 제공할 수 있었습니다. 200 mA g −1 에서 500 주기 후 [23]. 또한 그래핀은 화학적 안정성, 유연성, 전도성이 뛰어난 우수한 양극재로 각광받고 있다[24]. 조립된 2D 그래핀 시트의 3D 아키텍처인 그래핀 에어로겔(GA)은 그래핀 시트의 고유한 구조의 이점을 유지할 뿐만 아니라 초저밀도, 높고 조정 가능한 다공성, 우수한 기계적 강도 및 탁월한 흡착 특성을 보유합니다[25, 26]. 우리는 ZnO 나노막과 결합된 GA의 독특한 3D 구조가 LIB용 양극에서 유리한 응용을 가질 수 있다고 생각합니다.

여기에서 우리는 ZnO 나노막(GAZ)으로 코팅된 3D GA로 전극 구조를 설계했습니다. GA는 먼저 템플릿이 없는 동결 건조 전략을 통해 제조된 다음 원자층 증착(ALD)을 통해 ZnO 나노막으로 코팅되었습니다[25]. GAZ 복합 재료의 구성 요소는 이전 연구[27,28,29,30]에서 입증된 ALD 주기 수를 변경하여 쉽게 조정할 수 있습니다. 복합 재료에서 GA는 전도성 골격 및 ZnO 나노막 지지체로 작동합니다. 유연한 특성은 방전/충전 과정에서 ZnO의 부피 변화를 수용하는 데 도움이 되며 다공성 구조는 효과적인 Li + 를 촉진합니다. 수송. 따라서 리튬 저장에 적용할 때 GAZ 복합 재료는 높은 비용량과 우수한 속도 성능을 나타냅니다. 복합 재료는 1200 mAh g −1 의 가역 용량을 제공합니다. 1000 mA g −1 에서 500 주기 후. 복합재료의 충방전 과정에서도 눈에 띄는 용량 증가 현상이 관찰되었다. 테스트 결과는 사이클링 유도 용량 증가가 저전압 영역에서 폴리머 층의 형성에 기인할 수 있음을 확인합니다. 우리는 그 메커니즘을 이용하여 다른 금속 산화물에서도 유사한 현상을 설명할 수 있다고 믿습니다.

방법

GA 합성

본 연구에 사용된 산화 그래핀(GO)은 천연 흑연으로부터 변형된 Hummers 방법을 사용하여 제조되었다[25]. 모든 화학 물질은 중국 Sinopharm Chemical Reagent Co. Ltd.에서 구입했습니다. 그래핀 하이드로겔을 제조하는 일반적인 절차에서 5.0mg 도파민을 GO 수분산액에 첨가한 다음 10분 동안 격렬하게 교반하여 균일한 용액을 얻었다. 완전히 용해될 때까지 15mg의 l-아스코르브산을 격렬한 자기 교반과 함께 혼합물에 첨가하였다. 세 번째로, 혼합물을 유리 용기에 밀봉하고 95℃에서 10시간 동안 가열하여 갈색 수용액을 흑색 그래핀 하이드로겔로 변형시켰다. 다음으로, 하이드로겔을 금속판 위에 놓고, 용해성 종을 제거하기 위해 물에서 투석한 후 액체 질소 풀에 놓였습니다. 히드로겔은 금속-히드로겔 계면에서 상부 표면으로의 방향성 동결에 의해 완전히 동결되었다. 그리고, 동결건조하여 냉동된 하이드로겔로부터 에어로겔을 얻었다. 건조 에어로겔을 액체와 에어로겔 사이에 직접적인 접촉 없이 퍼플루오로옥틸트리에톡시실란(PFOES)/에탄올(2 wt.%)이 채워진 유리 용기에 넣었습니다. 마지막으로, 밀봉된 유리 용기를 70°C에서 8시간 동안 가열했습니다. 공기 중에서 완전히 건조시킨 후 GA를 얻을 수 있습니다.

GAZ 합성물의 준비

얻어진 GA는 ALD 챔버에서 아연 및 산화제 소스로 디메틸아연 및 탈이온수를 사용하여 ZnO 나노막으로 코팅되었습니다. 증착 기간 동안의 챔버 온도는 150 °C였습니다. 일반적인 ALD 주기에는 디에틸아연 펄스(30 ms), 대기 시간(3 s) 및 질소(N2 ) 퍼지(15 s) 및 물 펄스(30 ms), 대기 시간(3 s) 및 N2 퍼지(15 ). N2 30 sccm의 유량에서 캐리어 가스와 퍼지 가스의 역할을 합니다. 사용된 전구체는 중국 J&K Scientific Ltd.에서 구입했습니다. 복합 재료에서 ZnO 나노막의 두께는 ALD 주기의 수를 변경하여 조정되었습니다. 그런 다음 샘플을 N2에서 120분 동안 700°C에서 튜브로에서 어닐링했습니다. 대기. 비교를 위해 순수한 GA도 N2에서 120분 동안 700°C에서 관로에서 어닐링되었습니다. 분위기.

미세 구조 특성

주사전자현미경(SEM, Zeiss Sigma)과 투과전자현미경(TEM, Nova NanoSem 450)을 사용하여 GAZ 복합재료의 형태와 미세구조를 조사하였다. X선 회절계(XRD) 패턴은 Cu Kα 방사선(λ =1.5405 Å). GAZ 복합 재료의 구성은 SEM에 부착된 에너지 분산 분광법(EDS)으로 테스트되었습니다.

전기화학 측정

전기화학적 테스트는 상대 전극과 기준 전극 모두로 작용하는 리튬 금속을 사용하여 CR2016 코인 셀에서 액세스했습니다. 작동 전극은 80 wt.% 활성 물질(즉, GAZ 복합 재료), 10 wt.% 전도성 첨가제(Super P) 및 10 wt.% 바인더(N의 폴리비닐리덴 디플루오라이드)로 구성되었습니다. -메틸-2-피롤리돈(NMP)). 사용된 전해질은 1 M LiPF6 용액이었습니다. 에틸렌 카보네이트/디에틸 카보네이트에 용해(EC/DEC, 1:1 v /v ). 세포는 아르곤으로 채워진 글로브 박스(H2 오, 오2 <1 ppm). 정전류 측정은 0.01–3 V의 전압 범위에서 배터리 테스트 시스템(LAND CT2001A)에서 수행되었으며 사용된 전류 비율은 전극의 총 질량을 기준으로 했습니다. 순환 전압전류법(CV) 테스트도 0.1 mV s −1 의 스캔 속도에서 수행되었습니다. Zennium/IM6 전기화학 워크스테이션을 사용하여 0.001 ~ 3 V.

결과 및 토론

GAZ 복합 재료의 제조 개략도는 그림 1a에 나와 있습니다. GA는 템플릿이 없는 동결 건조 전략으로 합성되었습니다. 그런 다음 ALD를 사용하여 ZnO 나노막으로 GA 표면을 장식했습니다. GA 및 GAZ의 형태 및 미세 구조는 SEM을 통해 입증되었습니다. 그림 1b는 GA가 그래핀 나노시트로 구성되었음을 분명히 보여줍니다. 그림 1c–e는 ALD 사이클 수가 증가함에 따라 GAZ 복합 재료의 미세 구조 유사점과 차이점을 보여줍니다. ZnO 나노막이 GA 표면에 잘 증착되어 있지만 표면 커버리지는 상당히 다르다는 것을 알 수 있습니다. GAZ20의 그래핀 층은 ZnO 나노막으로 완전히 코팅되지 않았습니다(그림 1c). ZnO는 GA 표면에 반응성 부위나 작용기가 없기 때문에 GA 표면에 점/섬으로 분포되어 있다[25]. ALD 사이클 수를 100회로 늘리면 그림 1d와 같이 GA 표면 전체가 작은 나노입자로 구성된 ZnO 나노막으로 장식된다. 그림 1e와 삽입된 해당 확대 이미지는 더 많은 ALD 사이클로 두껍고 조밀한 ZnO 나노막이 형성되었음을 보여줍니다. 그림 1의 SEM 이미지는 ALD 주기가 증가함에 따라 GA 표면의 ZnO 적용 범위가 이에 따라 증가함을 보여줍니다.

<사진>

GAZ 복합 재료의 제조 개략도. b의 SEM 이미지 조지아, c GAZ20, d GAZ100 및 e GAZ300. e의 삽입 GAZ300의 확대 SEM 이미지입니다.

EDS 분석은 GAZ 복합 재료의 화학 조성을 결정하는 데 사용되었습니다. 그림 2a의 삽입도에서 볼 수 있듯이 O와 Zn의 존재 및 원자 비율은 SEM 이미지와 일치하는 GA 표면에 ZnO 나노막이 성공적으로 장식되었음을 나타냅니다. ALD 사이클의 함수로서 GAZ에서 Zn의 원자 백분율이 그림 2a에 나와 있으며, Zn 농도의 명백한 증가가 관찰되며, 이는 복합재의 조성이 ALD 사이클을 변경하여 쉽게 조정할 수 있음을 나타냅니다. 이러한 복합재의 결정 구조를 조사하기 위해 복합재를 XRD로 특성화하고 그 결과를 그림 2b에 나타내었습니다. GAZ300 및 GAZ100의 경우 ZnO(100), (002), (101), (102), (110), (103), (112), (201)의 특성 회절 피크가 XRD 패턴에서 명확하게 나타납니다( PDF#36–1451) [21], GA 표면에 코팅된 ZnO 나노막이 육각형 wurtzite 구조를 유지할 수 있음을 시사합니다. 그러나 GAZ20에서는 ZnO의 함량이 너무 낮기 때문에 매우 약한 회절 피크를 구별할 수 있습니다. ALD 사이클의 수가 증가함에 따라 ZnO의 특성 피크는 더 높은 ZnO 농도로 인해 더 분명해집니다. 그림 2의 실험 결과는 ALD 사이클을 변경하여 복합 재료의 구성이 성공적으로 조정되었음을 추가로 증명합니다. 따라서 장치 성능에 대한 구성의 영향을 쉽게 조사할 수 있습니다.

<그림>

GAZ 합성물에서 Zn 원자의 원자 백분율. 삽입된 것은 GAZ100의 EDS 결과입니다. ALD 주기가 다른 GA 및 GAZ 합성물의 XRD 패턴

다양한 전류 밀도(1000–2500 mA g −1 )에서 ALD 주기가 다른 순수 GA 및 GAZ 복합 재료의 속도 성능을 평가했습니다. 그림 3a에 설명된 대로). 전류 밀도와 용량은 모두 전극의 총 질량을 기준으로 계산되었습니다. GA20은 높은 전류 밀도(2.5 A g −1 )에서도 안정적인 용량을 보여줍니다. ). ALD 사이클 수가 100으로 증가함에 따라 GAZ100 전극이 더 나은 속도 성능을 보여줍니다. 전류 밀도가 1500, 2000 및 2500 mA g −1 로 증가함에 따라 , GAZ100 전극은 520, 450 및 400 mAh g −1 의 용량을 나타냅니다. , 각각. 전류 밀도가 1000 mAh g −1 로 다시 돌아올 때 , GAZ100 전극은 600 mAh g −1 의 초기 가역 용량을 회복합니다. . 우수한 속도 성능은 빠른 e - /리 + 복합 전극에서 수송하고 ZnO 분쇄를 완화합니다. 순수한 GA의 초기 방전 용량이 이론적인 용량보다 높다는 것을 알 수 있습니다. 추가 용량은 전해질이 분해되어 고체 전해질 계면(SEI) 층을 형성하기 때문입니다[31]. ALD 사이클 수가 300으로 증가하면 GAZ300은 GAZ100보다 더 낮은 용량을 제공하고 더 나쁜 속도 성능을 보입니다. 따라서 속도 성능은 ALD 주기 수와 양의 상관 관계가 없습니다. 우리는 GAZ20의 ZnO 함량이 낮을수록 충방전 용량이 낮아진다고 추론합니다. ALD 사이클이 300으로 증가함에 따라 복합 재료의 저항이 이에 따라 증가하고 더 두꺼운 ZnO 나노막이 GA 표면을 완전히 덮으므로 전해질 침투 및 리튬 이온 전달에 유익하지 않습니다. 또한, 두꺼운 ZnO의 부피 변화는 GAZ300에서 잘 완화되지 않습니다. 결과적으로 GAZ300의 ZnO 함량은 높지만 속도 성능이 저하됩니다.

<그림>

ALD 주기가 다른 순수 GA 및 GAZ 합성물의 평가 성능. ALD 주기가 다른 순수 GA 및 GAZ 합성물의 주기 성능. 1000 mA g −1 의 고전류 밀도 실험에 사용되었습니다

비용량을 더 자세히 조사하기 위해 1000 mA g −1 의 전류 속도로 순수한 GA 및 GAZ 복합 재료의 장기 테스트를 수행했습니다. 속도 성능 시험 후 1000 주기 동안, 그 결과는 그림 3b에 나와 있습니다. GAZ 복합재료의 비용량은 분명히 50번째에서 500번째 주기로 증가했습니다. 용량이 580 mAh g −1 에서 증가합니다. ~ 1200 mAh g −1 GAZ100의 경우, 450~700 mAh g −1 GAZ300용, 300~600 mAh g −1 GAZ20용. 이에 따라 GAZ100의 최대 면적 용량은 0.61 mA/cm 2 입니다. , GAZ20보다 높은(0.31 mAh/cm 2 ) ) 및 GAZ300(0.35 mAh/cm 2 ). 그러나 긴 사이클에서 순수한 GA의 용량은 작은 용량 증가만을 보여주고 ZnO도 이전 연구에서 뚜렷한 용량 증가를 나타내지 않았습니다[7, 23, 32]. 이것은 GAZ 복합 재료의 용량 증가가 ZnO 및 GA 구성 요소의 공동 효과로 인해 발생해야 함을 나타냅니다. 사이클링 과정에서 이러한 용량 증가 현상은 많은 금속 산화물로 만들어진 양극에서 관찰되었으며[9, 33,34,35,36,37], 활성화된 전해질 열화로 인한 가역적 폴리머 층의 형성에 기인한다[9]. 이전 문헌[16, 38, 39]은 층이 리튬 이온을 효과적으로 저장할 수 있고 따라서 용량이 향상됨을 입증했습니다.

용량 증가 현상을 더 자세히 조사하기 위해 GAZ100 전극의 CV 테스트를 수행했습니다. 그림 4a는 스캔 속도 0.1 mV s −1 에서 0.01–3.0 V의 전위 창으로 기록된 1번째, 300번째, 800번째 주기의 GAZ100 전극의 CV 프로필을 보여줍니다. . 첫 번째 사이클에서 1.6 V(I), 0.9 V(II), 0.2 V(III), 0.06 V(IV)에 위치한 4개의 음극 피크가 관찰되었습니다. 1.6 V(I)에 위치한 피크는 SEI 층의 형성과 관련될 수 있습니다[19, 40]. 0.9(II) 및 0.2 V(III)에서 관찰된 피크는 ZnO가 Zn(ZnO + Li + 으로 환원됨)에 해당합니다. + 6e → Zn + Li2 O) 및 합금화 공정(xLi + Zn → Lix Zn), 각각 [19, 32, 41,42,43]. 또한 0.06 V(IV)에 가까운 강한 환원 피크는 GA의 리튬화 공정과 관련이 있습니다[15, 44]. 첫 번째 사이클과 비교하여 300 사이클 후 1.6 V(I)에서 음극 피크가 여전히 존재하여 SEI 층의 형성이 후속 긴 사이클에서 여전히 발생했음을 나타냅니다. 그러나 1.6 V(I)의 피크는 800 주기 후에 사라지며 SEI 층의 안정적인 형성을 나타냅니다. 0.9(II) 및 0.2 V(III)에서 환원 피크는 300 및 800 충전/방전 사이클 후에 각각 0.62 및 0.3 V로 이동합니다. 앞서 언급한 논의에 기초하여, 우리는 이러한 이동이 나중에 논의될 폴리머 층의 형성을 수반하는 ZnO의 Zn으로의 환원 반응에 기인한다고 생각합니다[9, 45, 46]. 양극 곡선의 경우 0.2, 0.5, 1.3, 1.7, 2.3 V에서 5개의 피크가 관찰됩니다. 0.2, 0.5 및 1.3 V에서의 산화 피크는 Lix의 다단계 탈합금 공정에 해당합니다. Zn 합금은 Zn을 형성하며, 1.7 및 2.3 V의 피크는 ZnO를 생성하기 위한 Zn의 산화에 해당합니다[7, 47]. 후속 사이클에서 이러한 모든 양극 피크가 더 높은 전압으로 이동하는 것을 분명히 볼 수 있습니다. 이는 후속 사이클에서 GAZ100 양극에서 더 빠른 전자 수송 또는 리튬 이온의 더 느린 디인터칼레이션을 나타냅니다. 그러나 충전/방전 주기에서 ZnO의 팽창/수축은 GA와의 접촉을 상대적으로 악화시켜 전자 수송을 느리게 합니다. 따라서 관찰된 더 높은 전압으로의 피크 이동은 주로 리튬 이온의 더 느린 디인터칼레이션에 기인해야 합니다. 이전 문헌은 폴리머 층의 형성이 계면 저항을 증가시키고 리튬 이온의 디인터칼레이션을 방해한다는 것을 입증했습니다[48]. 또한, 양극 및 음극 피크의 통합 면적이 사이클에 따라 증가한다는 점에 유의해야 합니다(그림 4a). 이는 그림 3b에 표시된 증가된 용량과 일치합니다.

<그림>

다양한 충전/방전 주기 후의 GAZ100용 CV. 선택된 방전 전압 프로파일. 빨간색과 파란색 선은 각각 1번째 사이클과 500번째 사이클의 방전 프로파일을 나타냅니다. 삽입은 방전 전압의 함수로서 첫 번째와 500번째 사이클 사이의 용량 차이를 보여줍니다.

그림 4b는 GAZ100의 첫 번째 및 500번째 사이클의 선택된 방전 전압 프로파일을 보여줍니다. 해당 용량 증가는 그림 4b의 삽입된 부분에 나와 있습니다. 0.02–0.9 V에서 대부분의 용량증가가 얻어짐을 알 수 있으며, Fig. 4a의 CV에 따르면 3.0–1.6, 1.6–0.9, 0.9의 4가지 전압범위를 기준으로 방전과정을 4단계로 나눌 수 있다. -0.2 및 0.2-0.06 V는 각각 SEI 층의 형성, ZnO의 Zn으로의 환원, 폴리머 층의 형성을 수반하는 합금 공정 및 GA의 리튬화 공정에 해당한다. 그림 4b에 설명된 대로 ∆C1 , ∆C2 , ∆C3 및 ∆C4 1번째부터 500번째 사이클까지의 각 전압 범위의 용량 증가분입니다. 총 용량 증가(첫 번째에서 500번째 주기까지, 589.1 mAh g −1 ) , ∆C4 ) SEI 층 형성에서 증가하는 용량으로 구성됨(44.4 mAh g −1 , ∆C1 ), ZnO를 Zn으로 환원(80.4mAh g −1 , ∆C2 − ∆C1 ), Zn 및 Li의 합금화 공정(258 mAh g −1 , ∆C3 − ∆C2 ) 및 GA 리튬화 공정(206.3 mAh g −1 , ∆C4 − ∆C3 ). 분명히, 주요 용량 증가(∆C3 − ∆C2 )는 이전 문헌[49, 50]에서 설명한 바와 같이 고분자 층이 형성될 수 있는 낮은 전위 범위에서 주로 발생합니다. 또한 충전/방전 주기 후 전해질에 활물질(즉, GAZ 복합 재료)이 점진적으로 노출되는 것도 용량 증가에 부분적으로 기여할 수 있다고 생각합니다(∆C4 − ∆C3 ).

전극의 안정성을 증명하기 위해 500 사이클 후 GAZ100 전극의 형태를 자세히 조사했습니다. 500회 충전/방전 주기 후 GAZ100 전극의 일반적인 TEM 이미지는 추가 파일 1:그림 S1에 나와 있으며 ZnO의 결정 격자를 명확하게 관찰할 수 있습니다. 추가 파일 1에 표시된 TEM 결과:그림 S1은 ZnO 나노결정이 500 주기 후에 균열되지 않았음을 나타내며, 이는 현재 합성물의 안정적인 성능을 시사합니다[23].

결론

요약하면, GAZ 합성물은 ALD를 통해 쉽게 합성되었습니다. GAZ의 구성은 ALD 사이클 수를 변경하여 미세하게 조정할 수 있습니다. 특성 분석은 복합재가 ZnO 나노막의 높은 비용량과 GA의 우수한 전도성 및 유연성을 결합하기 때문에 복합재로 만든 전극이 더 나은 속도 성능과 더 높은 용량을 나타냄을 보여줍니다. 사이클링에 따른 현저한 용량 증가(GAZ100 전극의 경우 580 mAh/g에서 1200 mAh/g)가 GAZ 복합 재료에서 관찰되었습니다. 상세한 전기화학적 분석은 이러한 현상이 저전압 영역에서 폴리머층의 형성에 기인함을 시사하며, 이는 더 많은 리튬을 저장할 수 있어 가역 용량이 더 높다. GAZ 복합 재료의 편리한 제조 공정과 높은 가역성 용량은 미래 LIB를 위한 유망한 양극 재료가 됩니다.

약어

ALD:

원자층 증착

이력서:

순환 전압전류법

12월:

디에틸 카보네이트

EC:

탄산에틸렌

EDS:

에너지 분산 분광법

GA:

그래핀 에어로겔

GAZ:

산화아연/그래핀 에어로겔

이동:

산화 그래핀

LIB:

리튬 이온 배터리

NMP:

아니 -메틸-2-피롤리돈

PFOES:

퍼플루오로옥틸트리에톡시실란

SEI:

고체 전해질 계면

SEM:

주사전자현미경

TEM:

투과 전자 현미경

XRD:

X선 회절계

ZnO:

산화아연


나노물질

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