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그래핀/TMD 이종 구조의 준비 및 스펙트럼 특성에 대한 연구

초록

2차원 물질로 구성된 Van der Waals(vdWs) 헤테로 구조는 매력적인 전기 및 광전자 특성으로 인해 광범위한 관심을 받았습니다. 본 논문에서는 먼저 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로 고품질의 대형 그래핀 필름을 제조하였다. 그런 다음 그래핀 필름을 SiO2로 옮겼습니다. /Si 기판; 다음으로 그래핀/WS2 및 그래핀/MoS2 WS2를 직접 성장시켜 달성할 수 있는 대기압 화학 기상 증착 방법으로 헤테로 구조를 준비했습니다. 및 MoS2 그래핀/SiO2의 재료 /Si 기판. 마지막으로 그래핀/TMD 이종 구조의 테스트 특성화를 AFM, SEM, EDX, 라만 및 PL 분광법으로 수행하여 형태 및 발광 법칙을 얻고 파악했습니다. 테스트 결과는 그래핀/TMDs vdWs 이종 구조가 매우 우수한 필름 품질과 스펙트럼 특성을 가짐을 보여줍니다. 그래핀/TMD 이종접합의 계면에 내장된 전기장이 있어 광 발생 전자-정공 쌍을 효과적으로 분리할 수 있습니다. 단층 WS2 및 MoS2 재료는 강력한 광대역 흡수 기능을 가지고 있으며 WS2에서 광 생성 전자 기본 p로 전송할 수 있습니다. -그래핀/WS2일 때 그래핀 유형 이종 구조 재료는 빛에 노출되고 나머지 구멍은 일반 반도체 광전도체와 대조되는 라이트 게이트 효과를 유도할 수 있습니다. 그래핀/TMD 이종 구조의 스펙트럼 특성에 대한 연구는 새로운 광전자 장치의 응용을 위한 길을 열 수 있습니다.

소개

기존의 실리콘 기반 금속 산화물 반도체(CMOS) 트랜지스터의 크기는 칩 집적도가 높아짐에 따라 작아지고 소자 준비 공정이 훨씬 복잡해짐에 따라 연구자들은 초박형 이종 구조 기반 트랜지스터에 집중하기 시작했습니다. 광전자공학[1, 2]. 2차원(2D) 헤테로 구조는 층 사이의 약한 반 데르 발스(vdW) 힘과 층의 강한 공유 결합에 의해 결합될 수 있습니다. 약한 반 데르 발스 결합을 끊어서 층을 분리한 다음 다른 기질로 쉽게 옮길 수 있습니다[3]. 새로운 원자 수준 2D vdW 이종 구조의 형성은 서로 다른 2D 재료를 적층하여 달성할 수 있으며 2D 이종 구조의 시너지 효과가 매우 중요해집니다. 한편, 헤테로 구조에서 인접한 결정 사이에는 전하 재배열 및 구조적 변화가 있으며, 이는 각 원소 물질의 상대적인 방향을 조정하여 조절할 수 있습니다. 서로 다른 이종 구조는 단일 재료의 특성을 유지할 수 있을 뿐만 아니라 시너지 효과에 따라 새로운 물리적 특성을 생성할 수 있습니다[4,5,6]. vdW의 이종 구조는 새로운 물리적 현상과 법칙을 탐구하기 위한 물질적 보증이며, 이는 우수한 광전 특성을 가진 나노 전자 장치에 더 많은 가능성을 제공할 수 있습니다.

2차원 결정질 물질은 빛과 강한 상호작용을 하기 때문에 감광성 물질로 많은 관심을 받고 있다[7]. 그래핀은 전기적, 광학적, 기계적 특성이 우수한 원자 수준의 2차원 물질로 광전자공학 분야에서 폭넓게 응용되고 있다[8,9,10]. 그러나 제로 밴드 갭의 결함은 그래핀의 응용과 개발을 제한합니다. 2차원 전이금속 디칼코게나이드(TMD) 물질의 구조는 그래핀의 구조와 유사하며 밴드 갭 폭은 층 수와 두께에 따라 변한다[11, 12]. TMD와 그래핀 재료는 보완적인 장점이 함께 중첩되어 있어 광전 검출 분야에서 그래핀과 TMD 재료의 응용을 촉진할 수 있다[13,14,15]. 그래 핀의 높은 이동성은 장치의 빠른 응답을 보장 할 수 있으며 TMD 재료의 전자 상태 밀도에서 Van Hof 특이성은 빛과 재료 사이의 강한 상호 작용을 보장하여 빛의 흡수와 전자-정공 쌍의 생성을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다. [16, 17]. 2D 헤테로 구조는 전하 터널링 또는 전하 축적의 전송 특성, 유연한 에너지 밴드 엔지니어링 및 고유한 층간 여기자 특성으로 인해 새로운 전자 및 광전자 장치에 널리 사용되었습니다. 따라서 그래핀과 TMD 재료 사이의 층간 시너지 상호작용은 밴드 구조, 자기 특성 및 헤테로 구조의 여기자 특성을 효과적으로 제어할 수 있습니다. 그래핀/TMD 헤테로 구조는 강한 양자 구속 효과로 인해 높은 감광성과 광 응답 성능을 갖는다[18, 19]. 현재, 대면적, 대형 및 고품질 그래핀/TMD 헤테로구조의 제어 가능한 제조 방법에 대한 연구는 거의 없다. 그리고 이종 구조의 준비 과정이 복잡하여 반복성과 제어성 측면에서 여전히 큰 과제입니다[20, 21]. 또한 그래핀/TMD 이종 구조의 스펙트럼 특성을 이해하고 파악하는 것이 어렵기 때문에 미래 광전자 소자에 그래핀/TMD 이종 구조를 적용하는 데 큰 걸림돌이 됩니다[22].

이 논문에서 그래핀/WS2 및 그래핀/MoS2 이종 구조는 유전 상수, 밴드 갭 폭 및 흡수 계수가 다른 세 가지 종류의 반도체 재료로 구성되었습니다. 2D 물질은 SiO2의 단결정 그래핀 필름에 직접 성장되었습니다. /Si 기판은 그래핀/TMD 헤테로 구조를 형성하여 깨끗한 계면과 헤테로 구조의 원자 수준 전이를 보장할 수 있습니다. 그래핀의 구조, MoS2 및 WS2 고속 전자 이동성 트랜지스터(HEMT) 및 광전 검출기를 준비하는 데 사용할 수 있는 그래핀/TMD 이종 구조의 스펙트럼 특성을 마스터하기 위해 AFM, SEM, EDX, 라만 및 광발광 분광법으로 분석할 수 있습니다[23, 24,25].

방법

그래핀의 준비 및 이동

관로, 가스 혼합 시스템 및 진공 기계로 구성된 CVD 시스템에 의해 대면적, 고품질 그래핀 필름을 제조하였다. 먼저 10cm × 10cm 크기의 동박을 1mol/L 염산 용액에 넣고 3분간 초음파 세척을 하였다. 그런 다음 물과 에탄올로 차례로 세척하였다. 이어서, 아르곤 가스를 불어 건조시켰다. 마지막으로 석영관 중앙에 삽입하고 시스템을 설치하고 기압을 보정하였다[26](그림 1).

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그래핀 성장 및 b의 CVD 시스템 다이어그램 그래핀 성장 중 온도 곡선

다결정 동박은 그래핀의 품질에 영향을 미치므로 그래핀의 성장 실험 전에 동박 기판을 열처리할 필요가 있습니다. 1단계 어닐링 공정의 구체적인 조건은 어닐링 온도, 시간, 수소유량(H2 ) 가스는 각각 1000°C, 20분 및 30sccm였습니다. 이때 동박의 표면은 대면적의 단결정 도메인을 형성하고 H2 가스는 고순도 구리 기질을 얻을 수 있는 산화 구리를 감소시킬 수 있습니다. 성장 온도는 2단계, H2의 유속으로 들어가는 동안 일정하게 유지됩니다. 가스는 10 sccm으로 조정되었으며, 한편 35 sccm의 메탄(CH4 ) 가스도 주입하고 성장 시간과 성장 압력을 각각 10분 및 1.08Torr로 유지했으며 CVD 실험에서 그래핀의 성장 속도는 약 16μm/s로 비교적 균일한 단층의 제조를 보장했습니다. 그래핀 필름 [27, 28]. 마지막으로, 관로는 기질의 표면 손상을 방지할 수 있는 특정 속도로 실온으로 급냉되었습니다.

다음은 단층 그래핀 재료의 SiO2로의 특정 전이 과정을 설명합니다. /Si 기판[29]. 먼저, 1cm× 1cm 크기의 단층 그래핀 물질 표면에 질량분율 4%의 PMMA 용액을 균일하게 스핀 코팅하고, 회전 속도와 시간은 각각 3000R/min, 1min이었다. 다음으로, 동박 기판은 (NH4 )2 (SO4 )2 질량 분율이 3%인 용액이고 처리 시간은 3~4시간이었습니다. 그런 다음 유리 슬라이드에 의한 PMMA/그래핀을 탈이온수로 2~3회 반복적으로 헹구고 PMMA/그래핀을 SiO2에 의해 50°C 항온 테이블로 제거했습니다. 단층 그래핀 물질과 SiO2 사이의 수증기를 제거할 수 있는 /Si 기판 /Si 기판 및 단층 그래핀 재료는 SiO2에 더 잘 부착될 수 있습니다. /Si 기판. 이 단계에서 SiO2 1 × 1 cm 2 크기의 /Si 기판 15분 동안 아세톤, 에탄올 및 물로 초음파 세척하고 SiO2 표면 /Si 기판은 매우 깨끗하고 균일하여 그래핀/TMD 이종 구조의 성장에 도움이 됩니다. 마지막으로, PMMA/그래핀/SiO2 /Si를 3~4시간 동안 아세톤 용액에 넣어 PMMA를 용해하고 알코올과 탈이온수로 반복적으로 세척하여 단층 그래핀 필름이 SiO2로 이동할 수 있도록 합니다. /Si 기판.

그래핀/TMD 이종 구조의 준비

CVD 이중 온도 구역 관로에서 그래핀/SiO2 /Si 기판은 MoS2의 성장에 사용되었습니다. 및 WS2 재료. MoO3 , WO3 성장 몰리브덴 공급원, 텅스텐 공급원 및 황 공급원으로 각각 황 분말을 사용하였다. 고순도 Ar 가스도 그래핀/MoS2를 준비하는 데 사용되었습니다. 및 그래핀/WS2 각각 헤테로 구조. 먼저, 100mg의 황 분말이 포함된 석영 보트를 관로의 상류에 배치했습니다. 그런 다음 2mg MoO3 분말 (또는 WO3 분말)을 다른 석영 보트에 채우고 그래핀/SiO2 /Si 기판은 MoO3에서 거꾸로 뒤집혔습니다. 분말 (또는 WO3 가루). 그리고 그래핀/SiO2가 장착된 석영 보트 /Si 기판 및 MoO3 분말 (또는 WO3 분말)을 튜브로의 고온 영역에 삽입했습니다. 가열 벨트를 석영 튜브에 감아 황 분말을 가열하면 그림 2a와 같이 황 분말이 잘 제어되고 균일하게 증발됩니다. 다음으로, 유속 50 sccm의 고순도 Ar 가스를 캐리어 가스로 사용하고 유황 분말의 증발 온도를 150 °C, MoS2의 성장 온도 및 성장 시간으로 제어했습니다. 및 WS2 각각 750°C, 920°C 및 10분이었습니다. 한편, 1단계 온도는 100°C에서 10분간 유지되어 관로의 수증기를 제거할 수 있습니다. 구체적인 온도 변화 도표는 그림 2b에 나와 있습니다. 그 후, 유황 분말은 유황 증기로 승화되기 시작하고, 유황 증기는 Ar 가스에 의해 구동될 수 있는 관로의 고온 영역에 도달합니다. MoO3로 완전히 반응할 수 있습니다. 및 WO3 분말, 그리고 생성물은 그래핀/SiO2에 증착되었습니다. /Si 기판. 따라서 그래핀/TMD 이종구조의 성장률은 TMD 물질의 성장률과 일치하였다[30]. MoS2의 성장 이후 및 WS2 재료, 관로를 자연적으로 상온으로 냉각하고 기질의 색상이 밝은 노란색이됩니다.

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그래핀/TMD 헤테로 구조 및 b의 제조 개략도 성장 온도와 시간의 관계 곡선

그래핀/TMD 이종 구조의 테스트 특성화

이 논문에서 그래핀/TMD 이종 구조의 테스트 및 특성화 방법에는 주로 광학 현미경(OM), 라만 및 광발광(PL) 분광법, 전계 방출 주사 전자 현미경(FESEM), 에너지 분산 X선 분광법이 포함됩니다. EDX) 및 원자력 현미경(AFM). 첫째, 그래핀/TMD 이종 구조의 표면 형태는 광학 현미경, SEM 및 AFM으로 관찰할 수 있습니다. 이종 구조의 층 수는 이종 구조 샘플의 다른 대비에 따라 판단할 수 있습니다. 그런 다음, 그래핀/TMD 이종 구조의 스펙트럼 특성을 테스트하고 특성화했습니다. 특성화 결과를 바탕으로 그래핀 표면에서 TMD 물질의 성장 형태, 성장 패턴 및 성장 메커니즘을 분석하고 추측하였다[31]. 다음으로, 라만 분광법은 2차원 물질의 특성화 측면에서 신속성, 고효율 및 낮은 파괴성의 장점을 갖는다. 그것은 2D 재료에서 매우 광범위한 응용 분야를 가진 샘플 표면에서 전자 포논의 상호 작용을 직접 관찰할 수 있습니다. 2D 재료의 층 수와 결정 품질은 라만 스펙트럼의 특성 피크 위치, 특성 피크 위치 파수 차이 및 그래핀/TMD 이종 구조의 기타 특성을 분석하여 효과적으로 판단할 수 있습니다. 마지막으로 PL 스펙트럼은 2D 재료를 특성화하고 분석하는 중요한 방법이기도 합니다. 벌크 재료가 단층 재료로 얇아지면 TMD 재료의 밴드 갭 폭이 간접 밴드 갭 반도체에서 직접 밴드 갭 반도체로 변경됩니다. 한편, 형광 효과는 크게 향상되었으며 PL 스펙트럼에서 명백한 특징적인 피크가 있습니다. 그러나 그래핀/TMD 이종 구조의 결정 품질이 높지 않은 경우 샘플이 적은 층 또는 단층을 가지고 있더라도 PL 스펙트럼의 특성 피크 강도가 작을 것입니다. 따라서 샘플의 층 두께와 결정 품질도 PL 스펙트럼으로 판단할 수 있습니다. 또한, 그래핀/TMD 이종 구조 필름의 분포, 원소 유형 및 농도 백분율은 FESEM 및 EDX로 얻을 수 있습니다. 한편, AFM 테스트는 이종 구조 필름 샘플의 표면 청정도, 거칠기 및 재료 두께를 파악하는 데에도 사용되었습니다.

PL 및 라만 스펙트럼은 모두 HORIBA Jobin Yvon(프랑스 회사)에서 생산한 LabRAM HR Evolution 고해상도 라만 분광기로 수집되었습니다[32, 33]. 라만 및 PL 스펙트럼의 범위는 300cm −1 였습니다. –3000cm −1 및 각각 550–800nm입니다. 그리고 Raman과 PL 스펙트럼은 각각 10% power와 5% power였다. 다음은 특정 테스트 조건, 스펙트럼 분해능 ≤ 0.65cm −1 입니다.; 공간 해상도:수평 ≤ 1 μm, 수직 ≤ 2 μm; 532nm 레이저, 50× 대물 렌즈(빔 스폿 직경은 1.25μm, 100% 레이저 출력은 7500μw/cm 2 에 해당) ); 스캔 시간 15초, 누적 수는 2입니다.

결과 및 토론

Graphene/WS의 광학 현미경 사진 및 특성화2 이종 구조

이종 구조의 형태는 라만 분광기의 고해상도 현미경으로 구별할 수 있습니다. 그림 3a는 그래핀/WS2의 광학 현미경 이미지를 보여줍니다. SiO2의 다른 위치에서 이종 구조 /Si 기판. 그래핀 필름의 색이 SiO2로 옮겨지기 때문에 /Si 기판은 크게 다르지 않았으며, 그래핀 필름은 비교적 균일하고 완전합니다. 그래핀/SiO2의 표면 /Si 기판은 더 나은 품질의 그래핀 필름의 존재를 나타내는 소량의 입자를 제외하고 깨끗했습니다. 한편, WS2의 핵형성 밀도 WS2의 성장 실험에서 가스 농도가 충분할 때 최대가 됨 . 그리고 WS2 그래핀/SiO2에서 성장 /Si 기판은 입자 표면이 균일하고 측면 길이가 약 120μm인 삼각형 구조의 입자였습니다. WS2의 모양 규칙적이고 완전하며 두께가 균일하여 기계적 박리 샘플의 크기보다 훨씬 큽니다[34]. 도 3b에서 WS2의 형광 강도 이후 샘플은 매우 균일하게 분포되어 있으며 삼각형 단층 WS2 필름은 더 높은 품질과 더 낮은 결함을 가지고 있습니다. 그림 3c, d에서 WS2의 형태가 필름 샘플은 삼각형이고 두께는 WS2입니다. 필름은 0.83nm이며, 이는 단층 WS2의 준비를 나타냅니다. 영화. 또한 SEM을 사용하여 WS2의 형태를 분석했습니다. 샘플 필름이고 형태는 그림 3e와 같이 균일한 두께의 정삼각형이었습니다. 그림 3f에서 Dock 원소, 황 원소 및 탄소 원소는 EDX 스펙트럼으로 표시되며, 이는 graphene/WS2 이종 구조 재료가 성공적으로 전송되고 준비됩니다.

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광학 현미경 사진, b 매핑 이미지, c AFM 이미지, d 키 프로필 이미지, e FE-SEM 이미지 및 f 그래핀/WS2의 EDX 스펙트럼 SiO2의 헤테로 구조 /Si 기판

물질의 분자진동 및 회전정보는 물질구조를 식별하기 위한 지문진동스펙트럼인 라만분광법(Raman spectroscopy)으로 얻을 수 있다. WS2의 레이어 번호 및 수정 품질 샘플은 라만 스펙트럼의 특징적인 피크 위치와 파수 차이로 효과적으로 판단할 수 있습니다. 그림 4a는 WS2의 라만 스펙트럼을 보여줍니다. 다른 위치에서 샘플, E 1 2g 및 A1g 특징적인 피크는 350.4cm −1 에 위치했습니다. 및 416.1cm −1 , 각각. 대량 WS2일 때 단층 재료 변경, E 1 2g 및 A1g 특징적인 피크는 각각 청색 이동 및 적색 이동으로 나타납니다. 따라서 두 개의 특징적인 피크 사이의 파수 차이로 레이어 번호를 판단할 수 있으며, 파수 차이는 65.7cm -1 입니다. , 그래서 삼각형 WS2 그레인은 단층 물질이었다. 그림 4b에서 가장 강한 발광 피크는 626nm에 위치했으며 해당 밴드 갭은 1.98eV로 단층 WS2의 밴드 갭 너비와 일치합니다. . 우리 모두 알다시피 2D 재료의 PL 강도는 결정 품질 및 레이어 수와 관련이 있습니다. 2D 재료는 결함과 층 수가 적고 광도가 높아 결정 품질이 더 우수함을 나타냅니다[35]. 가변 전력 특성화는 nW 수준에서 수행하여 레이저 조사가 샘플을 손상시키는 것을 방지할 수 있습니다. E 1 의 피크 위치가 Fig. 4c를 관찰하여 알 수 있다. 2g 평면 진동 모드는 가진력이 증가해도 기본적으로 변하지 않고 A1g 평면 사이의 진동 모드는 단파 수 방향으로 이동합니다. 그 이유는 A1g 진동 모드는 전자 농도와 큰 관계가 있으며 전자 농도의 증가는 밴드 갭의 재형성으로 이어질 것입니다. 그림 4d와 같이 WS2의 PL 스펙트럼 강도 레이저 파워가 증가함에 따라 증가하며, 밴드갭의 재형성과 헤테로 구조의 층간 상호작용으로 인한 형광 소광 현상이 존재한다. 동시에, 재료의 국부 온도는 레이저 출력의 증가에 따라 거의 변하지 않음을 알 수 있습니다. WS2 때문입니다. 원자층 수준의 나노물질입니다.

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WS2의 스펙트럼 특성화 . 다른 위치에서의 라만 스펙트럼, b 다른 위치의 PL 스펙트럼, c 파워 라만 스펙트럼 및 d 전력 PL 스펙트럼

그래핀 재료의 층수 특성화 및 품질 정보는 라만 분광법으로 얻을 수 있습니다. 그림 5a에서 서로 다른 위치에서 그래핀의 라만 회절 스펙트럼은 3개의 주요 특징 피크인 D 피크, G 피크 및 2D 피크가 각각 1330cm -1 에 위치했습니다. , 1583cm −1 및 2674cm −1 . D 피크는 그래핀 격자 구조의 무질서와 관련이 있으며, 그래핀 소재의 격자 결함이 많을수록 D 피크의 위치가 파란색으로 이동하여 결정의 결함 및 불순물 함량을 반영할 수 있습니다. 2D 피크는 2-phonon 2차 공명 라만 피크로 그래핀 물질의 탄소 원자 배열을 나타낼 수 있다. 게다가 G 피크는 E2g 첫 번째 Brillouin 영역 중심의 모드에서 피크 높이는 그래핀의 층 수에 따라 거의 선형으로 증가하며 G 피크 강도는 어느 정도 그래핀의 도핑과 관련이 있습니다. 2D 피크와 G 피크의 상대적인 비율은 그래핀의 층 수를 대략적으로 결정하는 데 사용할 수 있으며, 결함 밀도가 증가하면 D 피크와 G 피크의 비율이 감소합니다. MoS2가 성장할 때 그래핀의 라만 스펙트럼에 약한 D 피크가 나타납니다. (또는 WS2 ) 재료가 완성되었으며, 이는 그래핀 도메인이 여전히 고품질을 유지하고 있음을 나타냅니다. 고온 성장 과정의 영향을 받는 노출된 그래핀 영역의 2D 피크 강도가 약해졌습니다. 그래핀 2D 피크의 FWHM(full width at half maxima)은 층수가 증가함에 따라 점진적으로 증가하며, 2D 피크의 피크 위치는 블루 쉬프트되는데, 이는 그래핀 물질의 에너지 밴드 관계와 관련이 있을 수 있다. 전자 에너지 밴드 구조는 레이어 수가 증가함에 따라 분할되며 다양한 포논 공명 산란 과정이 발생합니다. 엑시톤 피크는 더 많은 에너지를 흡수하여 여기될 것이며, 이는 2D 피크 위치의 청색 이동으로 이어질 것입니다. Point C와 E에서 G 피크의 피크 강도는 2D 피크의 피크 강도보다 훨씬 높습니다. 2D / G 두께가 증가함에 따라 비율은 감소하고, 본 실험에서 전사된 그래핀은 허용 범위 내에서 매우 균일하지 않았다. 그림 5b는 단층 그래핀의 파워 라만 스펙트럼을 보여줍니다. 그래핀의 G 및 2D 피크 강도는 레이저 출력 및 온도가 증가함에 따라 점차 증가하며, 기본적으로 피크 위치 및 FWHM의 변화는 없습니다. G 피크와 2D 피크는 각각 1581cm −1 에 위치했습니다. 및 2672cm −1 , 그리고 두 특성 피크의 강도가 크게 다릅니다. 그래핀과 기본 SiO2 사이의 상호작용 변화로 인해 , I의 특성 피크 비율 2D / G 감소됩니다. 한편, Raman 스펙트럼의 D 결함 피크는 없었으며, 이는 선택된 그래핀 영역이 고품질이고 탄소 원자가 고도로 정렬되어 있음을 나타냅니다.

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그래핀의 스펙트럼 특성. 다른 위치에서의 라만 스펙트럼 및 b 파워 라만 스펙트럼

라만 분광법을 사용하여 그래핀/WS2 특성화 및 분석 이종 구조 재료, 그리고 300cm −1 의 두 스펙트럼이 있었습니다. ≤ ω ≤ 500cm −1 및 1400cm −1ω ≤ 3000cm −1 , 로렌츠 함수에 의해 피팅되었습니다. E 1 이 있었습니다. 2g 및 A1g WS2의 모드 특성 피크 300cm −1 범위 ≤ ω ≤ 500cm −1 . E 1 2g 포논 모드는 황 및 텅스텐 원자의 평면 내 변위이며 A1g 포논 모드는 황 원자의 평면 외 변위이며, 위의 포논 모드 위치와 간격은 레이어 수에 따라 다릅니다. 그래핀의 G 및 2D 피크는 1400cm −1 스펙트럼 영역에 나타납니다. ≤ ω ≤ 3000cm −1 , 그리고 특성 피크의 세기비와 피크 위치에 따라 그래핀의 층수와 결정질 정보를 얻을 수 있다.

두 개의 다른 Davydov 분할 피크의 주파수 차이는 vdW 이종 구조의 상호 작용 크기를 반영할 수 있습니다. 따라서 다층 2D 재료의 층 내 진동 포논 모드 주파수는 층간 결합 및 층 수에 따라 달라집니다. 그림 6a는 그래핀/WS2의 라만 스펙트럼 테스트 특성화를 보여줍니다. 532nm 레이저 아래 서로 다른 지점에서 이종 구조. E 1 의 강도는 2g 특성 피크는 A1g보다 높았습니다. 특성 피크 강도 및 E 1 2g 및 A1g 특징적인 피크는 349.3cm −1 에 위치했습니다. 및 417.1cm −1 , 각각. 그래핀/WS2의 라만 스펙트럼 2D 및 G 피크 이종 구조는 각각 1591.5cm −1 에 있었습니다. 및 2680.9cm −1 , 그리고 2D 및 G 피크의 피크 위치는 순수 그래핀에 비해 상승하는데, 이는 WS2의 효과적인 층간 결합과 관련이 있을 수 있습니다. 나노 시트 및 CVD 성장 중 고온 가열에 의해 생성된 변형 효과. 그래핀/WS2의 라만 스펙트럼 이종 구조 재료는 개별 분리된 WS2의 합일 뿐입니다. 및 vdW 이종접합 계면의 형성을 확인할 수 있는 그래핀 스펙트럼. PL 스펙트럼 강도는 결정 품질 및 층 수와 관련이 있습니다. 라만 분광법은 진동 모드에 대한 이종 구조 형성의 영향에 초점을 맞추며 TMD 이종 구조 재료의 전자 밴드 구조는 주로 PL 스펙트럼으로 얻을 수 있습니다. 그림 6b는 그래핀/WS2의 PL 스펙트럼을 보여줍니다. 다른 지점에서 이종 구조. 가장 강한 발광 피크는 624nm에 위치했으며 해당 밴드 갭은 1.99eV로 단층 WS2의 밴드 갭 폭과 일치합니다. . 그래핀/WS2 다른 위치의 이종 구조 재료는 PL 스펙트럼의 강도와 모양이 다르며 결정 품질이 좋지 않습니다. 따라서 이종구조체의 제조공정은 더욱 개선될 필요가 있다. 그래핀/WS2의 PL 스펙트럼 강도 이종 구조는 WS2의 구조보다 약합니다. . 그래핀/WS2의 층간 결합 때문입니다. 이종 구조는 이종 구조 영역의 엑시톤 형광을 변화시켜 전자-정공 쌍의 분리 및 형광 감소로 이어질 것입니다. 한편, 그래핀/WS2 헤테로 구조가 형성되고 전하의 이동은 페르미 표면의 이동을 일으켜 자유 여기자를 하전된 여기자로 변경할 수 있습니다. 그림 6c는 그래핀/WS2의 파워 라만 스펙트럼을 보여줍니다. 이종 구조. 인플레인 포논 모드 E 1 2g 특성 피크 및 평면 외 포논 모드 A1g 특성 피크는 각각 356cm −1 였습니다. 및 418cm −1 , 여기서 위의 특성 피크는 레이저 출력이 증가함에 따라 증가합니다. 특성 피크의 피크 위치와 모양은 단결정 내에서 균일하였으며, WS2의 전자적 특성 그래핀/SiO2에 /Si 기판은 균일했다. WS2의 두께 시트는 A1g 사이의 주파수 차이에 따라 결정될 수 있습니다. 및 E 1 2g 특징적인 피크, 평균 거리는 62 ± 0.2cm −1 , 단층 WS2의 두께와 일치 . 고유 그래핀의 피크 위치와 비교하여 그래핀/WS2의 G 피크 및 2D 피크 위치 1578.7cm −1 의 이종 구조 및 2685.8cm −1 1582.2cm −1 로 변경 및 2689.5cm −1 , 각각. 또한, 레이저 출력이 증가함에 따라 G 피크의 강도가 2D 피크보다 강해지고 I 2D / G 그래핀과 SiO2 사이의 상호작용 변화로 인한 비율 /Si 기판 [36, 37]. 그래핀/WS2의 PL 강도는 그림 6d를 관찰하여 알 수 있습니다. 이종 구조는 레이저 출력이 증가함에 따라 증가합니다., PL 스펙트럼의 FWHM도 증가하고 PL 스펙트럼의 모양이 변경됩니다. 그 이유는 헤테로 구조 주변의 테스트 온도가 증가하고 그래핀/WS2 계면에서 강한 층간 결합이 있기 때문입니다. 이종접합.

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그래핀/WS2의 스펙트럼 특성화 이종 구조. 다른 위치에서의 라만 스펙트럼 다른 위치에서 PL 스펙트럼; 파워 라만 스펙트럼; 그리고 d 전력 PL 스펙트럼

그래핀/WS2의 라만 스펙트럼 헤테로 구조는 그림 7a와 같이 노출 된 그래 핀 영역의 것과 크게 다릅니다. 첫째, 파수가 증가하면 스펙트럼 배경이 상승하고 배경은 WS2의 PL 스펙트럼에서 나옵니다. , 그래핀/WS2의 존재를 확인합니다. 헤테로 구조. 다음으로 WS2 재료는 그래핀의 2차원 특성 피크 강도를 억제할 수 있습니다. 마지막으로 그래핀/WS2의 G 피크와 2D 피크 모두 이종 구조는 베어 그래핀 물질의 스펙트럼과 비교하여 위쪽으로 이동합니다. 그래핀과 WS2 사이의 층간 결합으로 인해 , the 2D peak would also shift up, and the mechanical strain also has the impact on the Raman shift of graphene. The enhancement factor (EF) is the ratio of the maximum peak intensity of graphene/WS2 hetero-structure divided by the maximum peak intensity of graphene. The maximum peak intensity of G peak increases from 460 to 830, and the maximum peak intensity of 2D peak increases from 340 to 1460, and the corresponding EF were 1.8 and 4.3, respectively. The D peak signal is significantly enhanced when the graphene/TMDs hetero-structures is formed. Therefore, the I D / G ratio of monolayer graphene is weaker than that of graphene/WS2 hetero-structure. This is because the extrusion of WS2 on graphene has the effect on the structure of graphene, which would result in the appearance of a small number of defects. In Fig. 7b, the PL intensity of graphene/WS2 hetero-structure is higher than that of bare graphene, which may be related to the effective interlayer coupling and the strain effect. Meanwhile, the maximum intensity of PL spectra is increased from 270 to 1410, and the corresponding EF is 5.23. The intensity enhancement of characteristic peak can be attributed to the coupling of graphene/WS2 hetero-structure.

라만 스펙트럼 및 b PL spectra characteristics comparison of graphene before and after WS2 growth

Raman spectroscopy can be used to evaluate the crystal quality and film thickness of 2D materials. The Raman spectra comparison of WS2 and graphene/WS2 hetero-structure is shown in Fig. 8a. Compared to the Raman spectra of WS2 , the A1g mode characteristic peak position of graphene/WS2 hetero-structure was blue-shifted, and the intensity of E 1 2g mode and A1g mode characteristic peaks was higher than those of WS2 , and the graphene/WS2 hetero-structure film has the excellent crystallinity. The reason is that the coupling between layers can be enhanced when the two materials are stacked to form the hetero-structure, which would generate the interlayer interaction forces. The maximum E 1 2g and Alg characteristic peak intensity increases from 3400 and 1100 to 6500 and 2950, respectively. And the enhancement factors (EF) are 1.9 and 2.7, respectively. In addition, monolayer WS2 and multilayer WS2 are the direct band gap semiconductor and indirect semiconductor materials, respectively. Therefore, the PL spectroscopy can be used to identify the layer number of WS2 견본. In Fig. 8b, the above two materials show that the strongest PL emission was around 626 nm, and that the band gap was approximately at 1.98 eV, which is consistent with band gap of the mechanically peeled monolayer WS2 . The PL intensity of graphene/WS2 hetero-structure was stronger than that of monolayer WS2 . The reasons are the following:First, the work function between graphene and WS2 does not match. Second, the internal field was formed. Third, the photoelectrons from WS2 can transfer to graphene. Forth, the WS2 material retains holes. The maximum intensity of strongest peak increases from 7450 to 19,320, and the EF of PL spectra are 2.6. The increase in peak intensity is due to the coupling between graphene and WS2 materials.

라만 스펙트럼 및 b PL spectra characteristics comparison between WS2 and graphene/WS2 hetero-structure

Optical Micrograph and Characterization of Graphene/MoS2 Hetero-structure

The optical microscope pictures of graphene/MoS2 hetero-structure on SiO2 /Si substrate are shown in Fig. 9a. We found that the color of the graphene transferred to SiO2 /Si substrate was not much different from the original one. The surface was relatively clean except for a few particles in some areas. These results indicate that the graphene film is uniformly and completely formed. MoS2 thin film covers graphene/SiO2 /Si substrate, which can be connected into the continuous graphene thin film across the grain boundaries. The prepared graphene/MoS2 hetero-structure was continuous and intact, and the sample surface was relatively clean, which has the good surface uniformity. The local fluorescence intensity distribution is not uniform when there are many defects. Figure 9b shows the in-plane fluorescence intensity distribution of triangular monolayer MoS2 영화. The crystal lattice of sample has the fewer defects. In Fig. 9c, d, the surface condition of the material is observed by AFM, and the height difference between the edge of the material and the graphene/SiO2 /Si substrate is measured to judge the material thickness, the thickness of monolayer MoS2 material is about 0.81 nm. It can be found by the SEM test result that the morphology of MoS2 film sample is the triangular flake, as shown in Fig. 9e. It can be found by observing Fig. 9f that the molybdenum, sulfur and carbon elements are uniformly distributed in the EDX spectrum, which indicates that the graphene/MoS2 hetero-structure has been successfully prepared.

Optical micrograph, b mapping image, c AFM image, d height profile image, e FE-SEM image and f EDX spectrum of graphene/MoS2 hetero-structure on SiO2 /Si substrate

The interlayer interaction weakens with decrease in the film thickness. A1g mode characteristic peak is red-shifted, whereas the characteristic peak of E 1 2g mode is blue-shifted. As a result, the frequency distance between A1g 및 E 1 2g vibration modes becomes smaller, which can be used to identify the thickness of 2D materials. Figure 10a shows the Raman spectra of MoS2 at different positions. The characteristic peaks of E 1 2g mode and A1g mode were at 381.2 cm −1 and 400.5 cm −1 , 각각. And the peak spacing was 19.3 cm −1 , which indicates the presence of monolayer MoS2 . Due to the Van der Waals force between the layers, the frequencies of two vibration modes moving in the same or opposite directions between adjacent atoms in the layers are slightly different. The PL spectra are used to obtain the light emission characteristics of MoS2 film, as shown in Fig. 10b. As we all know, the luminous intensity of monolayer MoS2 was much greater than that of multilayer, and the electronic band structure changed from indirect band gap to direct band gap when the layer number of MoS2 material changed from multilayer to single layer. Therefore, there was only the strong emission peak of monolayer MoS2 . In addition, the strongest PL peak was at 678.5 nm, and the corresponding direct band gap was 1.83 eV, which is close to the band gap value of mechanically peeling MoS2 영화. It can be found by observing Fig. 10c that the characteristic peak intensity of Raman spectra is increased with increase in the laser power and that the peak positions of E 1 2g 및 A1g mode characteristic peak were blue-shifted. This is because the Raman peak line would have a certain frequency shift with increase in the temperature and laser power. Figure 10d shows the power PL spectra of MoS2 , the luminous intensity increasing accordingly with increase in the laser power, and the strongest PL peak position was blue-shifted.

Spectral characteristics characterization of MoS2 . Raman spectra at different positions, b PL spectra at different positions, c power Raman spectra and d power PL spectra

A high-frequency layer vibrating phonon mode of monolayer 2D material would split into the N corresponding high-frequency modes in an N-layer 2D material, which would lead to the Davydov splitting. Figure 11a shows the Raman spectra of graphene/MoS2 hetero-structure, and there were the G, 2D peaks of graphene and the E 1 2g 및 A1g peaks of MoS2 , which indicates the formation of layered graphene/MoS2 hetero-structure material. E 1 2g 및 A1g Raman characteristic peaks of MoS2 were located at 375.5 cm −1 and 394.4 cm −1 , 각각. And the peak spacing was 18.9 cm −1 . Compared with intrinsic graphene, the G peak and 2D peak positions of graphene/MoS2 hetero-structure shift to large wavenumbers, and G peak and 2D peak move from 1581 and 2672 cm −1 to 1587 and 2674 cm −1 , 각각. In addition, the intensity of G peak is stronger than that of 2D peak. The rise of the 2D and G peaks position is related to the effective interlayer coupling and the strain effect. Compared with the Raman spectra of MoS2 material, the spectra of graphene/MoS2 hetero-structure material are significantly shifted due to the enhancement of interlayer atomic interaction, and the peak intensity can also be significantly enhanced. It can be found from Fig. 11b that the graphene/MoS2 hetero-structure has two absorption peaks at 621 nm and 683 nm and that the corresponding band gaps were 1.99 eV and 1.82 eV according to the conversion relationship between wavelength and electron volt. The luminous intensity of graphene/MoS2 hetero-structure was lower than that of intrinsic MoS2 . The reasons of these phenomena are that the graphene material has the weakening effect on the fluorescence of MoS2 material and that the electronic energy band and electronic distribution can be changed due to the interlayer coupling, which can greatly change the PL and Raman spectra.

Spectral characteristics of graphene/MoS2 hetero-structure. Raman spectra at different positions, b PL spectra at different positions, c power Raman spectra and d power PL spectra

Figure 11c shows the power Raman spectra of graphene/MoS2 hetero-structure, the Raman peaks intensity of G, 2D, E 1 2g , and A1g increasing with increase in the laser power. The peak position difference between E 1 2g 및 A1g is gradually enhanced with increase in the layer number of MoS2 재료. The characteristic peak positions of E 1 2g 및 A1g were 377.2 cm −1 and 396.7 cm −1 , 각각. And the peak position difference was 19.5 cm −1 , which can be judged that MoS2 material is the monolayer. Meanwhile, the G and 2D peaks of graphene were red-shifted and blue-shifted, respectively. This is because graphene material is doped with MoS2 . It can be found by observing Fig. 11d that there were two PL peaks of graphene/MoS2 hetero-structure. These PL peak corresponding to the compound transition of A and B excitons, wherein the light emission corresponding to the direct band gap exciton recombination was 1.84 eV, whereas the peak corresponding to the indirect band gap exciton recombination was at 2.0 eV. The luminous intensity of strongest peak is increased with increase in the laser power, and the peak position of the strongest PL spectra is red-shifted. This is due to the p -type conductivity of the graphene and the change of band structure when graphene and MoS2 materials were stacked. In addition, the arrangement of energy bands at the interface allows the electrons from electron-rich MoS2 to transfer to p -type graphene material.

결론

Graphene/TMDs-based hetero-structures, where WS2 및 MoS2 were used as TMDs material, were successfully synthesized directly on graphene films by using APCVD. The morphology, spectral characteristics and luminescence law of hetero-structures can be obtained by AFM, SEM, EDX, Raman and PL spectroscopy, and the hetero-structures show the excellent photosensitivity. Compared with intrinsic graphene material, the G and 2D peak positions of graphene/TMDs hetero-structures are the blue-shifted, the intensity of G peak is stronger than that of 2D peak with increase in the laser power and decrease in the I 2D / G 비율. Due to the presence of internal electric field, the photo-generated electron–hole pairs can be effectively separated at the interface of graphene/TMDs hetero-structures, which could greatly improve the light response. This research could effectively guide the preparation process improvement in large-area, high-quality hetero-structures, and it could also pave the way for the application of graphene/TMDs hetero-structures in the optoelectronic devices field.

데이터 및 자료의 가용성

The experiment data supporting the conclusion of this manuscript have been given in this manuscript.

약어

2D TMDs:

Two-dimensional transition-metal dichalcogenides

vdWs:

반 데르 발스

HEMT:

High-speed electron mobility transistors

PMMA:

폴리메틸메타크릴레이트

MoS2 :

이황화 몰리브덴

APCVD:

Atmospheric pressure chemical vapor deposition

WO3 :

삼산화몰리브덴

OM:

광학 현미경

PL:

광발광

MoO3 :

삼산화몰리브덴


나노물질

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