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측면 단층 MoS2/WS2 이종 접합에 기반한 광검출기

초록

단층 전이 금속 디칼코게나이드(TMD)는 우수한 광 캡처 및 광검출 기능으로 인해 차세대 광전자공학에 대한 유망한 잠재력을 보여줍니다. 감지, 이미징 및 통신 시스템의 중요한 구성 요소인 광검출기는 광학 신호를 감지하고 전기 신호로 변환할 수 있습니다. 여기서, 대면적 고품질 측면 단층 MoS2 /WS2 이종 접합은 1단계 액상 화학 기상 증착 방식을 통해 합성되었습니다. 체계적인 특성화 측정은 채널 재료의 우수한 균일성과 날카로운 인터페이스를 확인했습니다. 결과적으로 포토게이팅 효과로 강화된 광검출기는 ~ 567.6A/W의 응답성과 ~ 7.17 × 10 11 의 감지율을 포함하여 경쟁력 있는 성능을 제공할 수 있습니다. 존스. 또한, 현재 전력 스펙트럼에서 얻은 1/f 노이즈는 전하 캐리어 트래핑/디트랩핑에서 비롯된 것으로 간주되는 광검출기의 개발에 전도성이 없습니다. 따라서 이 작업은 측면 단층 TMD 이종 구조를 기반으로 하는 효율적인 광전자 소자에 기여할 수 있습니다.

<사진>

소개

거의 0.5조 달러 규모의 반도체 칩 시장을 고려할 때 2차원(2D) 재료는 현재 무어의 법칙을 확장할 수 있는 가장 실현 가능하고 유망한 후보 중 하나입니다[1,2,3,4,5]. 2D 계열의 대표적인 구성원으로서 전이 금속 디칼코게나이드(TMD)는 광검출 및 발광 장치에서 독특한 광전자 특성과 잠재적 응용[6,7,8,9,10,11,12]으로 인해 집중적으로 연구되었습니다. [13, 14]. 특히 TMD를 광검출기에 적합한 채널 재료로 만드는 조정 가능한 밴드갭, 높은 캐리어 이동도, 높은 광 흡수 및 원자적으로 얇은 두께는 광전자 또는 전자 장치에서 중요한 역할을 합니다[15, 16]. 캐리어 트래핑 효과를 일으키는 TMD의 결정 결함은 높은 감광성을 초래할 수 있지만 불가피하게 느린 응답 속도를 초래할 수 있습니다[17]. 또한 일부 연구자들은 2D 재료의 제한된 광 활용을 향상시키기 위해 플라즈몬 향상을 제안합니다[18,19,20]. 각각의 우월성을 결합하고 접합부에서 독특한 전자 수송을 보여주는 TMD 이종 구조는 측면 스티칭 또는 수직 적층이 제시됩니다[21]. 이러한 이종 구조는 고유한 전자 특성을 맞춤화하고 광 흡수를 개선할 수 있으며[22], 새롭게 등장하고 디자인 가능한 기능을 보여줍니다[13, 23]. 예를 들어, TMD 헤테로구조에 의해 유도된 내장 전기장[24] 또는 에너지 준위 차이[25]는 포토캐리어 분리[26]를 가속화하고, 포토캐리어 재결합[17, 27]을 억제하고[28] 암전류를 낮추어야 합니다. 고성능 광검출을 달성하는 데 유용합니다. 게다가 Wang의 그룹[29]은 측면 헤테로구조에서 억제된 전자-정공(e-h) 재조합을 인증했습니다. 이전에 보고된 바와 같이, 측면 헤테로구조는 더 높은 캐리어 이동도를 보인 반면[30], 수직 헤테로구조는 일반적으로 광활성 영역[27] 및/또는 영역당 향상된 전류 구동[31]을 증가시켰습니다. 더욱이, 측면 헤테로구조의 면내 계면은 양면보다 더 강한 방출 강도를 보였다[14]. 그러나 억제된 광발광(PL) 방출은 감소된 직접 복사 재결합으로 인해 수직 이종 계면에서 관찰될 수 있었습니다[32]. 또한 측면 및 수직 TMD 이종 구조는 새로운 여기자 전이를 생성하는 것을 가능하게 합니다[14].

결정 격자 품질 측면에서 MoX2 /WX2 (X =S, Se 또는 Te) 측면 이종 접합은 유사한 벌집 모양[33, 34] 구성 및 격자 매개변수[34]로 인해 구조적 결함을 거의 유도할 수 없습니다. 또한 이러한 종류의 이종 접합은 일반적으로 type-II 밴드 정렬을 형성할 수 있어 고효율 광검출에 바람직합니다[32, 34, 35]. 이전 연구에 따르면 측면 단층 MoS2 /WS2 이종접합은 WS2에 국한된 VBM(가전자대 최대값)으로 유형 II 밴드 정렬을 나타내는 것이 좋습니다. MoS2에서 전도대 최소값(CBM) [32, 34]. 예를 들어, Wu의 그룹은 MoS2의 VBM과 CBM이 WS2보다 0.39eV 및 0.35eV 낮습니다. , 각각 [34]. 또한 MoS2 사이의 대역 오프셋 및 WS2 밴드 정렬을 결정하는 것은 Mo와 W의 서로 다른 d-궤도 위치를 통해 추정될 수 있습니다[34]. 수직 이종 구조는 기계적 전달 및 스택에 의해 준비될 수 있는 반면 측면 구조는 성장 방법에 의해서만 달성될 수 있습니다[14]. 게다가, 이전에 보고된 바와 같이 수직 이종 구조는 정밀한 제어가 불가능하고 층 사이의 계면에서 쉽게 오염된다[33]. 운 좋게도 측면 헤테로구조는 오염을 줄이기 위해 한 단계 방법으로 합성할 수 있습니다[28]. 오늘날 대면적 및 고품질 측면 단층 TMD 이종 구조의 성장은 여전히 ​​큰 도전 과제로 남아 있습니다[36]. 따라서 고품질 및 대면적 측면 TMD 이종 접합은 고성능 광검출기의 개발에 중요하며 바람직합니다.

여기에서 측면 단층 MoS2 /WS2 1단계 액상 CVD 방법을 통해 예리한 계면과 우수한 균일성을 갖는 이종 접합이 준비되고 이러한 이종 구조를 기반으로 광검출기가 제조됩니다. 제시된 광검출기는 567.6 A/W 및 7.17 × 10 11 의 높은 응답성과 검출성을 제공할 수 있습니다. 각각 존스. 이 작품은 측면 단층 MoS2를 보여줍니다. /WS2 이종접합은 차세대 광전자 응용 분야의 적격 후보가 될 수 있습니다.

방법

이종 구조 합성

0.05g의 텅스텐산나트륨, 0.5g의 몰리브덴산암모늄 및 0.12g의 NaOH(또는 KOH) 입자를 10mL의 탈이온수(DI)에 용해하여 전구체 용액을 얻었다. 성장 기판(사파이어)을 피라냐 용액으로 처리하여 표면 친수성을 향상시킨 후, 깨끗한 사파이어 기판에 전구체 용액을 균일하게 스핀 코팅하였다. 그 후, 전구체 덮인 사파이어와 유황을 각각 가열 센터와 석영 튜브의 상류에 배치했습니다. MoS2를 성장시키기 위해 가열 센터를 40분 만에 700°C까지 올리고 10분 동안 유지했습니다. -OH 이중층(즉, MoS2 단층 및 단일 OH - 이온 부착). 마지막으로 캐리어 가스가 Ar에서 Ar/H2로 변경되었습니다. (5% H2 ), 그리고 가열 센터는 10분 이내에 780°C로 가열되고 WS2가 허용되도록 10분 동안 유지됩니다. MoS2의 가장자리를 따라 성장 -OH 이중층, MoS2 형성 /WS2 측면 이종 구조. 이종구조 합성에 대한 자세한 내용은 이전 연구[30]를 참조하십시오.

전송 프로세스

우리는 폴리스티렌(PS) 보조 방법을 사용하여 WS2를 전송했습니다. /MoS2 사파이어에서 SiO2로의 측면 헤테로 구조 /Si 기판. PS 용액(PS 9g을 톨루엔 100mL에 용해)을 먼저 이종 구조에 3500rpm으로 60초 동안 스핀 코팅한 다음 샘플을 90°C에서 10분 동안 구워 톨루엔을 제거합니다. 그 후 WS2 /MoS2 -PS 필름은 물방울에 의해 얻어지며, 부유하는 WS2 /MoS2 -PS 필름은 깨끗한 SiO2로 준설됩니다. /Si 기판. WS2 /MoS2 –PS-SiO2 /Si 샘플을 80°C에서 1시간 동안 구운 다음 150°C에서 30분 동안 구워 폴리머를 펴서 주름을 제거합니다. 마지막으로 톨루엔으로 여러 번 씻어서 PS 필름을 제거하여 WS2를 얻습니다. /MoS2 -SiO2 /Si 샘플.

기기 제작

표준 전자빔 리소그래피(EBL)를 사용하여 성장한 측면 단층 MoS2의 마커와 전극 패턴을 정의했습니다. /WS2 이종 접합. Ti/Au 전극(10nm/100nm)을 채널에서 증발시키고 아세톤에서 제거했습니다. 기기를 진공에서 400°C에서 2시간 동안 열처리한 후 실온으로 빠르게 냉각했습니다.

재료 특성화

광학 이미지는 OLYMPUS 현미경(LV100ND)으로 캡처되었습니다. Raman, PL 및 AFM 매핑 이미지는 532nm의 레이저를 사용하는 Raman-AFM 공초점 분광계(Witec, alpha300 RA)로 측정되었습니다.

기기 특성화

광검출기의 광전자 특성은 SemiProbe 프로브 스테이션과 반도체 매개변수 분석기(Keithley 4200) 및 Platform Design Automation(PDA, FS-Pro)을 사용하여 측정되었습니다. 광원으로 다른 파장의 레이저를 사용하여 광검출기의 광응답을 측정했습니다. 조사계로 다른 레이저 밀도를 측정했습니다.

결과 및 토론

그림 1a는 광학 대비로 설명된 CVD 성장 측면 단층 헤테로구조의 광학 이미지를 보여줍니다. 그림 1a에서 1과 2로 표시된 다른 위치에서 얻은 해당 라만 스펙트럼은 내부 MoS2의 구성을 확인합니다. (385.5cm −1 및 405.3cm −1 ) 및 외부 WS2 (351.5cm −1 및 416.5cm −1 ) 그림 1b [30]. MoS2의 높은 수정 품질 및 WS2 상응하는 라만 스펙트럼에서 산화 피크가 관찰되지 않기 때문에 암시된다[37]. 특히 MoS2의 고유 피크는 및 WS2 둘 다 그림 1a에서 3으로 표시된 스티칭된 인터페이스에서 관찰되었으며, 이는 인터페이스에서 두 가지 재료가 형성되었음을 나타냅니다. 또한 E2g의 주파수 차이는 모드 및 A1g MoS2 모드 19.8cm −1 입니다. , 단일층 제안 [30, 38, 39]. WS2를 고려할 때 , 세로 음향 모드(2LA)의 피크 강도 비율 [40] 352cm −1 A1g로 모드, 즉 I2LA /IA1g , 주파수 차이보다 두께를 검증하는데 더 정확하다[14]. 비율은 단층 WS2와 일치하여 ~ 2로 추정되었습니다. 532nm 레이저로 측정[14]. E2g의 뚜렷한 적색 편이 모드(평면 내 진동)는 측면 이종 접합에서 합금 효과[41]의 결과로 관찰될 수 있습니다. 특히, 이 유사한 거동은 유전체 스크리닝과 층간 결합으로 인해 수직 이종 접합에서도 관찰되었습니다[42]. 또한 MoS2의 파란색 영역이 있는 그림 1c의 라만 매핑 결과 및 WS2의 빨간색 영역 는 이음매 없는 고품질 면내 헤테로구조를 나타냅니다[13, 43]. 그림 1d, e는 MoS2를 사용한 구성도 보여줍니다. 내부 및 WS2 PL 매핑에 의해 외부로 각각 [13]. WS2에서 향상된 PL 강도를 보여주는 여러 포인트 영역은 불순물이나 공석으로 인한 캐리어 불균일성으로 설명될 수 있습니다[14]. 또한 MoS2보다 인터페이스에서 더 강한 PL 방출 영역은 캐리어의 불균일한 분포 또는 가장자리에서 더 높은 광유도 캐리어 재조합 비율로 해석될 수 있습니다[14]. Raman 및 PL 매핑은 모두 MoS2 사이에 선명하고 잘 연결된 인터페이스를 제안합니다. 및 WS2 [14, 44]. 두께와 표면 형태는 트래핑 모드를 사용하여 원자간력현미경(AFM)으로 측정했습니다. 전하 캐리어 산란[45]을 초래하는 입자 경계는 재료 내부에서 관찰되지만 가장자리는 그림 1f[14, 46]에서와 같이 더 나은 전기적 전송 성능을 나타냅니다. WS2의 두께 외부는 ~ 0.7 nm(하단)로 CVD 성장 WS2와 일치합니다. 이전에 보고된 단층 [47] 및 WS2 사이의 높이 차이 및 MoS2 단층 MoS2를 의미하는 약 0.25nm(상단)입니다. [47]. 전반적으로, 위의 재료 특성화 결과는 측면 단층 MoS2를 입증할 수 있습니다. /WS2 날카로운 인터페이스와 이종 접합.

<그림>

As-grown 측면 단층 MoS2의 재료 특성화 결과 /WS2 이종 구조. (a) 측면 단층 MoS2의 광학 이미지 /WS2 이종 접합. (b) (a ), 각각. 라만 매핑 이미지(c ), MoS2의 PL 매핑 이미지 지역(d ) 및 WS2 지역(e ) (a의 빨간색 프레임 영역) ). 해당하는 가색 막대는 (c )–(e ). (f ) 파란색의 해당 단면 높이 프로파일(WS2 사이 및 MoS2 ) 및 흰색(WS2 사이 및 기질) AFM 형태 이미지에 표시된 선

광검출기는 측면 MoS2 기반 EBL 시스템을 사용하여 제작되었습니다. /WS2 이종 접합. 그림 2a는 측면 이종접합 장치의 개략도(상단)와 해당 유형 II 밴드 정렬(하단)을 보여줍니다. 따라서 전자와 정공은 MoS2에서 이동되고 구속됩니다. 및 WS2 영역을 각각 인터페이스를 통해 광전 변환을 달성 [13, 21, 24, 48]. 우리는 이것을 광전도 효과의 특별한 경우와 같은 광 게이팅 효과에 기인합니다[49]. 포토게이팅 효과는 채널 컨덕턴스를 변조하는 로컬 포토게이트로 작용할 수 있습니다[50]. 유효 소자 면적이 ~ 40 μm 2 인 소자의 광학 이미지 소스 및 드레인 전극으로 E1 및 E2 전극을 사용하여 그림 2b에 설명되어 있습니다. 이종 접합 구성을 파악하기 위해 측면 MoS2의 채널 재료를 나타내는 결합된 라만 매핑이 수행되었습니다(그림 2c). /WS2 측정된 소스 전극과 드레인 전극(E1 및 E2) 사이의 이종 접합 [28]. 파란색, 빨간색 및 어두운 부분은 MoS2입니다. , WS2 및 금속 전극, 각각. 그림 2d는 각각 405nm, 520nm, 635nm의 가시광선에서 측면 이종접합의 반대수 출력 특성 곡선을 보여줍니다. 그림 2d의 삽입은 선형 I-V를 나타냅니다. 채널과 전극 사이의 관계 [51,52,53,54,55,56]. 선형 V 특성은 높은 암전류로 인해 높은 반응성을 달성하는 데 도움이 되지만 광검출기의 감도는 낮습니다[57]. 또한 ph (즉, 어두운 ) 광검출기의 12.5배 증가하여 접촉 저항 감소[46, 58], 결함 제거[59] 및 향상된 전기 전도도[60]에 기인할 수 있습니다. 그림 2는 위의 파장에 의해 여기되는 광전환 특성을 보여줍니다. 과도 전류는 빛이 켜져 있을 때 빠르게 상승하고 빛이 꺼지면 즉시 떨어지므로 이 광검출기가 즉각적인 빛 활성화 스위치 역할을 할 수 있음을 의미합니다[61].

<그림>

광검출기의 광전자 특성. (a) 광검출기의 개략도 및 제안된 밴드 정렬. 광학 이미지(b ) 및 해당 결합된 라만 매핑(c ) 광검출기. E1 및 E2는 측정된 장치의 소스 및 드레인 전극을 나타냅니다. 반대수(d ) 및 선형((d) 삽입 ) V 특성 및 광전환 특성(e ) 광검출기

파장은 같지만 레이저 출력 밀도가 다른 반대수 출력 특성은 그림 3a에 나와 있습니다. 예상대로 광전류는 더 많은 유도된 광생성 캐리어로 인해 레이저 출력 밀도가 증가함에 따라 확대됩니다[62]. 그림 3b는 I를 보여줍니다. –V 레이저 출력 밀도는 같지만 입사 파장이 다른 곡선(즉, 광 흡수량과 광 여기 에너지가 다름). 더 짧은 파장은 동일한 레이저 출력 밀도에서 더 긴 파장에 비해 더 적은 광자를 소유합니다. 이 경우 측정된 과도 전류는 조사 파장이 감소함에 따라 증가합니다. 이것은 더 긴 파장에서 감소된 광 흡수로 인해 발생할 수 있습니다[63, 64]. 그림 3c는 10초의 주기적인 레이저 조명 하에서의 과도 전류를 설명하며 안정적이고 재현 가능한 광응답을 나타냅니다[61]. 포토게이팅 효과가 지배적인 대부분의 저차원 광검출기의 경우, 연장된 캐리어 수명으로 인해 제한된 응답 속도와 높은 응답성을 얻을 수 있습니다[50, 65]. 상승/하강 시간은 광전류가 안정값의 10%/90%에서 90%/10%까지 상승/하강하는 데 필요한 시간으로 정의됩니다[66, 67]. 상대적으로 긴 상승/하강 시간은 많은 결함 상태를 자극하는 레이저 조명에서 비롯된 느린 캐리어 재결합으로 인해 발생해야 합니다[68]. 따라서 상승 시간과 하강 시간을 포함한 응답 시간은 수명이 긴 전하 트래핑 프로세스로 인해 포토게이팅 효과에 의해 희생되었습니다[57]. 일부 연구자들은 캐리어 전달을 위한 부드럽고 짧은 경로와 최적의 장치 구조를 제공할 수 있는 고품질 채널 재료가 응답 속도를 향상시킬 수 있다고 제안했습니다[69, 70]. 실제로, 감광성 장치의 성능 수치는 주로 책임(R ) 및 탐지력(D *). R 의 관계에 의해 계산됩니다.

$$R ={{\mathop I\nolimits_{ph} } \mathord{\left/ {\vphantom {{\mathop I\nolimits_{ph} } {(P \cdot S)}}} \right. \kern-\nulldelimiterspace} {(P \cdot S)}}$$ (1) <그림>

광검출기의 광반응 거동. V 다양한 405nm 레이저 출력 밀도에서 특성(a ) 및 5mW/cm 2 의 다양한 입사 파장에서 (b ). (c) 입사광의 주기적 온/오프 전환에 의해 여기되는 시간 분해 광응답. (d) 추출된 R (검은 구) 레이저 출력 밀도의 함수. (c에 대한 인가 전압 –d )은 1V

입니다.

여기서 P 그리고 S 레이저 출력 밀도와 유효 소자 면적은 각각 [62, 71, 72]입니다. 그림 3d는 R의 해당 값을 보여줍니다. 다양한 레이저 출력 밀도에서 광검출기의 챔피언 R 최대 ~ 567.6 A/W에 도달하여 경쟁력 있는 성능 매개변수를 제공합니다. 높은 R MoS2에서 전자 트래핑과 함께 이종 구조에서 억제된 광 캐리어 재결합에 기인합니다. 지역으로 추정된다[22]. 감소된 R 레이저 출력 밀도가 증가함에 따라 광검출기에서 광게이팅 효과가 더욱 드러났습니다[73].

또한 광전류 및 레이저 출력 밀도는 거듭제곱 법칙 방정식을 따릅니다.

$$\mathop I\nolimits_{ph} =A\mathop P\nolimits^{\alpha }$$ (2)

여기서 A 상수이고 0 <α <1. α의 값 , I의 곡선을 피팅하여 얻은 phP 그림 4a에서 캐리어 캡처, 재조합 및 전송의 프로세스와 관련이 있습니다[74, 75]. I 사이의 하위 선형 관계 ph 그리고 장치에 광 게이팅 효과가 있음을 추가로 시사합니다[65]. α의 더 높은 값(예:~ 0.73)은 감소된 포토캐리어 재결합 및 캐리어 간의 상호작용으로 인해 더 낮은 전력 밀도가 적용될 때 얻을 수 있습니다[75, 76]. 대조적으로, 더 높은 전력 밀도는 더 강한 재결합 손실과 더 많은 트랩 상태로 인해 ~ 0.55의 저하된 α 값을 초래할 수 있습니다[77]. 계산된 D의 전제조건 * 방정식을 통해

$$\mathop D\nolimits^{*} =R\mathop {({S \mathop{\left/ {\vphantom {S {2e\mathop I\nolimits_{{{\text{어두운}}}}} }} } \right.\kern-\nulldelimiterspace} {2e\mathop I\nolimits_{{{\text{어두운}}}} }})}\nolimits^{{{1 \mathord{\left/ {\vphantom {1 2}} \맞습니다. \kern-\nulldelimiterspace} 2}}}$$ (3)

(a) 의 줄거리 ph 대 레이저 출력 밀도. (b) 현재 전력 스펙트럼(S ) 다른 주파수에서. (a–b에 적용된 전압 )은 1V

입니다.

광검출기가 주요 노이즈 소스인 샷 노이즈에 의해 제한된다는 것입니다[49, 66, 78]. D를 추가로 평가하려면 * 보다 정확하게는 그림 4b에서 얻은 노이즈 전류를 서로 다른 주파수에서 측정한 것입니다[74]. 그림 4b는 우리 광검출기의 일반적인 1/f 노이즈[79]를 보여줍니다. 이는 반도체 산업에서 신소재에 상당한 장애물입니다. 이러한 종류의 노이즈는 주로 전도성 채널의 하전된 불순물과 트래핑 사이트로 인해 발생합니다[57, 80]. 1/f 노이즈를 줄이기 위해서는 더 높은 재료 품질과 작은 구조적 결함 밀도가 필요합니다[81]. 의 공식에 따르면

$$\mathop D\nolimits^{*} =R{{\mathop {(S\Delta f)}\nolimits^{{{1 \mathord{\left/ {\vphantom {1 2}} \right. \kern-\nulldelimiterspace} 2}}} } \mathord{\left/ {\vphantom {{\mathop {(S\Delta f)}\nolimits^{{{1 \mathord{\left/ {\vphantom {1 2}} \맞습니다. \kern-\nulldelimiterspace} 2}}} } {\mathop I\nolimits_{{{\text{noise}}}} }}} \right. \kern-\nulldelimiterspace} {\mathop I\nolimits_{{{\text{노이즈}}}} }}$$ (4)

여기서 Δf 그리고 소음 측정 대역폭과 노이즈 전류 [79], 광검출기의 감지율은 약 7.17 × 10 11 입니다. 존스. 표 1은 2D 재료를 기반으로 하는 대응하는 광응답 성능과 선택된 대표적인 광검출기를 비교했습니다. 상대적으로 높은 R 그리고 * 우리의 광검출기 중 광전자 장치에서 큰 잠재력을 보여줍니다.

결론

요약하면, 측면 단층 MoS2 기반으로 고성능 광검출기가 개발되었습니다. /WS2 이종 접합. 1단계 액상 CVD법으로 성장한 채널 물질의 크기는 밀리미터 단위에 이른다. 또한, 체계적인 재료 특성화 및 후속 장치 측정을 통해 균일성이 우수하고 인터페이스가 예리한 고품질 채널 재료를 조사했습니다. 특히, 567.6 A/W의 높은 응답성과 ~ 10 11 의 검출력 존스는 포토게이팅 효과에 기인하는 광검출기에 대해 달성된다. 제안된 측면 MoS2의 성능 /WS2 이종접합 광검출기는 보고된 작업보다 우수하거나 유사합니다[24, 62, 76, 78, 86, 97, 98]. 또한, 우리는 전하 캐리어의 트래핑/디트랩핑으로 인해 발생하는 원치 않는 1/f 노이즈가 고품질의 결함이 없는 채널 재료에 의해 더욱 감소될 수 있다고 가정합니다. 손쉬운 1단계 액상 CVD 성장과 광검출기의 우수한 광전자 성능은 측면 헤테로구조를 기반으로 하는 광전자 장치에 대한 추가 연구에 동기를 부여할 수 있습니다.

데이터 및 자료의 가용성

이 기사의 결론을 뒷받침하는 데이터 세트가 기사에 포함되어 있습니다.


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